[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011473029.3
• 申請(qǐng)日: 2020-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN112234005B
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧沙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 威海愛來福半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 合肥市科融知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34126
• 代理人: 張永強(qiáng)

1.一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，包括機(jī)座(1)、安裝在機(jī)座(1)上的機(jī)架(2)、轉(zhuǎn)動(dòng)連接在機(jī)架(2)上的傳動(dòng)輥軸(3)、套設(shè)在傳動(dòng)輥軸(3)上的兩組傳送帶(4)和安裝在機(jī)座(1)上的檢測(cè)機(jī)構(gòu)(6)，其特征在于，所述機(jī)架(2)的上端安裝有氣缸(14)，所述機(jī)架(2)的內(nèi)端固定連接有外接套體(15)，所述外接套體(15)的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸(16)，且氣缸(14)的輸出端貫穿至轉(zhuǎn)軸(16)的內(nèi)側(cè)，所述轉(zhuǎn)軸(16)的外端固定連接有支臂(17)，所述機(jī)架(2)的內(nèi)端還固定連接有架板(7)，所述架板(7)的下端滑動(dòng)連接有滑接盤(8)，所述滑接盤(8)的上端固定連接有的軸柱(11)，且軸柱(11)的延伸端貫穿至支臂(17)的上側(cè)，所述滑接盤(8)的上側(cè)位于軸柱(11)的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)接盤(13)，所述軸柱(11)的外端安裝有配合轉(zhuǎn)接盤(13)轉(zhuǎn)動(dòng)的步進(jìn)電機(jī)(12)，所述滑接盤(8)的內(nèi)部滑動(dòng)連接有呈對(duì)稱分布的兩組滑塊(9)，兩組所述滑塊(9)的下端固定連接有夾板(10)，所述機(jī)座(1)的外端位于機(jī)架(2)的外側(cè)安裝有計(jì)數(shù)統(tǒng)計(jì)機(jī)構(gòu)(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述氣缸(14)的外端固定連接有側(cè)接塊(1401)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸(16)的內(nèi)部開設(shè)有配合側(cè)接塊(1401)滑動(dòng)的對(duì)接槽(1601)，且對(duì)接槽(1601)呈螺旋分布在轉(zhuǎn)軸(16)的內(nèi)側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述架板(7)的內(nèi)部貫穿開設(shè)有配合軸柱(11)滑動(dòng)的第一滑槽(701)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述支臂(17)的內(nèi)部貫穿開設(shè)有配合軸柱(11)滑動(dòng)的第二滑槽(1701)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述滑接盤(8)的外端固定連接有呈對(duì)稱分布的兩組滑接齒(802)，且滑接齒(802)與架板(7)滑動(dòng)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接盤(13)的內(nèi)端固定連接有呈對(duì)稱分布的兩組滑桿(1301)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述滑接盤(8)的內(nèi)部貫穿開設(shè)有配合滑桿(1301)滑動(dòng)的兩組弧形槽(801)，且兩組弧形槽(801)呈中心對(duì)稱分布。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體器件次品檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述滑塊(9)的內(nèi)部具有配合滑桿(1301)滑動(dòng)的滑軌(901)。