[發明專利]一種原子力顯微鏡微懸臂彈性系數標定裝置

有效

• 申請號: 202011472926.2
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112798205B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 秦毅;任斌;胡耀華;姜鳴;王福杰;郭芳;姚智偉
• 申請（專利權）人: 東莞理工學院
• 主分類號: G01M5/00
• 分類號: G01M5/00
• 代理公司: 北京翔石知識產權代理事務所(普通合伙) 11816
• 代理人: 李勇

1.一種原子力顯微鏡微懸臂彈性系數標定裝置，包括底座(1)、載環盤(2)、懸環盤(3)、第一副架(4)與第二副架(5)，其特征在于：所述載環盤(2)固定安裝于底座(1)的上表面，所述第一副架(4)固定安裝于底座(1)與載環盤(2)的右側壁，所述載環盤(2)與懸盤通過支撐桿(9)進行固定安裝，所述第二副架(5)固定安裝于懸環盤(3)的右側壁，所述底座(1)的筒腔內固定安裝有電磁線圈(6)，所述載環盤(2)的環孔內固定安裝有平行鉸鏈(7)，所述平行鉸鏈(7)的懸空端固定安裝有永磁體(8)，所述懸環盤(3)的環孔中部固定安裝有激光測距儀(10)，所述第一副架(4)與第二副架(5)間轉動安裝有螺紋桿(11)，所述第一副架(4)的底腔內固定安裝有第一伺服電機(14)，所述第一伺服電機(14)的輸出端通過聯軸器固定安裝螺紋桿(11)的下端，所述第一副架(4)與第二副架(5)間固定安裝有支撐滑軌(12)，所述支撐滑軌(12)位于靠近底座(1)側，所述螺紋桿(11)螺裝有第一絲母(15)，所述第一絲母(15)固定安裝于調節架(13)的槽口內，所述支撐滑軌(12)設于調節架(13)的槽口內，所述調節架(13)的左端上表面開設有安裝槽，且安裝槽內固定安裝有第二伺服電機(16)與平移滑軌(18)，所述平移滑軌(18)位于第二伺服電機(16)的左側，所述平移滑軌(18)上表面滑動安裝有滑架(17)，所述滑架(17)的夾腔內固定安裝有第二絲母(19)，所述第二絲母(19)螺裝第二伺服電機的輸出端；

所述底座(1)的筒腔、載環板的環孔與懸環盤(3)的環孔同軸，所述螺紋桿(11)的軸線、支撐滑軌(12)的軸線與載環盤(2)的環孔的軸線位于同一平面內；

所述第一副架(4)的高度等于底座(1)與載環盤(2)的高度盒，所述第二副架(5)的高度與懸環盤(3)高度相同；

所述支撐桿(9)的長度與支撐滑軌(12)的長度相同。

2.根據權利要求1所述的一種原子力顯微鏡微懸臂彈性系數標定裝置，其特征在于：所述滑架(17)的左端上表面設有固定夾板(20)，所述固定夾板(20)的下表面固定安裝有滑桿(21)，所述滑桿(21)貫穿滑架(17)，所述滑桿(21)的下端一體成型有限位帽，且限位帽與滑架(17)的下表面間夾裝有復位彈簧(22)。

3.根據權利要求1所述的一種原子力顯微鏡微懸臂彈性系數標定裝置，其特征在于：所述平行鉸鏈(7)數量為三個，且三個懸空端焊接于載環盤(2)的下表面，所述永磁體(8)固定安裝于載環盤(2)的上表面。