[發(fā)明專利]硅片目檢輔助裝置和硅片目檢方法

在審

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• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112233995A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 張少飛;馬強強
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;張博

本發(fā)明涉及一種硅片目檢輔助裝置和硅片目檢方法，所述硅片目檢輔助裝置包括硅片夾持結構、反射結構和成像結構；所述成像結構包括一成像面，所述成像面具有相鄰或相間隔設置的第一區(qū)域和第二區(qū)域；所述反射結構包括設置于所述硅片夾持結構的相對的兩側的第一反射單元和第二反射單元，所述第一反射單元用于將硅片的第一面成像于所述第一區(qū)域，所述第二反射單元用于將硅片的與所述第一面相背的第二面成像于所述第二區(qū)域。本發(fā)明解決硅片目檢效率低且容易被污染的問題。

技術領域

本發(fā)明涉及硅片檢測技術領域，尤其涉及一種硅片目檢輔助裝置和硅片目檢方法。

背景技術

在硅片加工產(chǎn)線中，對于目視檢查目前存在兩種方式：一種是人工檢查，目檢人員通過肉眼進行判定硅片是否合格，另外一種是自動檢查，將光信號轉化成數(shù)據(jù)，由電腦處理數(shù)據(jù)判斷硅片是否合格。

人工檢查的優(yōu)點是對于較輕微的缺陷，人眼識別更清晰，因為人眼對于細微的內(nèi)容是靈敏的，另外對于一些首次出現(xiàn)的缺陷，人工檢查可以起到一個預警的作用，而不是簡單地判定，但是人工目檢過程一般先看硅片正面，硅片正面檢查完后將硅片進行翻轉，然后查看硅片背面，效率低，且人員檢查時間越長，造成硅片被污染的機率越大。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種硅片目檢輔助裝置和硅片目檢方法，解決硅片目檢效率低且容易被污染的問題。

為了達到上述目的，本發(fā)明采用的技術方案是：一種硅片目檢輔助裝置，包括硅片夾持結構、反射結構和成像結構；

所述成像結構包括一成像面，所述成像面具有相鄰或相間隔設置的第一區(qū)域和第二區(qū)域；

所述反射結構包括設置于所述硅片夾持結構相對的兩側的第一反射單元和第二反射單元，所述第一反射單元用于將硅片的第一面成像于所述第一區(qū)域，所述第二反射單元用于將硅片的與所述第一面相背的第二面成像于所述第二區(qū)域。

可選的，還包括旋轉結構，用于控制所述硅片夾持結構旋轉，以使得硅片的第一面的不同的待檢區(qū)域成像于所述第一區(qū)域，并使得硅片的第二面的不同的待檢區(qū)域成像于所述第二區(qū)域。

可選的，所述硅片夾持結構包括固定部、環(huán)形本體和至少兩個夾持件，所述環(huán)形本體可旋轉的固定于所述固定部上，至少兩個所述夾持件固定于所述環(huán)形本體上，每個所述夾持件包括與所述環(huán)形本體連接的連接桿，所述連接桿的第一端連接于所述環(huán)形本體上，所述連接桿的第二端向所述環(huán)形本體的中心延伸設置，所述連接桿的第二端設置有用于夾持硅片的夾持部。

可選的，所述固定部包括位于所述環(huán)形本體相對的兩側的兩個軸承，所述軸承包括內(nèi)圈和外圈，所述內(nèi)圈和外圈之間設置有滾珠，所述環(huán)形本體套設于兩個所述軸承的所述內(nèi)圈上，所述環(huán)形本體旋轉時，所述內(nèi)圈轉動，所述外圈固定不動。

可選的，所述旋轉結構包括驅動電機、傳動軸和皮帶，所述傳動軸與所述驅動電機傳動連接，所述皮帶纏繞于所述傳動軸與所述環(huán)形本體的外周面。

可選的，所述環(huán)形本體上固定有三個所述夾持件，三個所述夾持件沿所述環(huán)形本體的周向方向均勻設置。

可選的，還包括分別設置于所述硅片夾持結構的相對的兩側的光源。

可選的，所述成像結構包括至少一鏡片，所述鏡片上具有所述成像面，所述鏡片位于目檢人員的水平視角范圍內(nèi)，或者所述鏡片位于人眼水平視線的上方。

本發(fā)明實施例還提供一種硅片目檢方法，應用于上述的硅片目檢輔助裝置，包括以下步驟：

夾持固定硅片，使得硅片的第一面的待檢區(qū)域成像于成像面的第一區(qū)域，硅片的第二面的待檢區(qū)域成像于成像面的第二區(qū)域，所述第一區(qū)域與所述第二區(qū)域相鄰或相間隔設置；

旋轉硅片，使得硅片的第一面的不同的待檢區(qū)域成像于所述第一區(qū)域，硅片的第二面的不同的待檢區(qū)域成像于所述第二區(qū)域。