[發(fā)明專利]適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011471198.3
• 申請日: 2020-12-14
• 公開（公告）號: CN112697818B
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭勇;鄭少川;張宏;張軍偉;鄧霞;朱柳;蒙萱;關(guān)超帥
• 申請（專利權(quán)）人: 蘭州大學(xué)
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01N23/20058;G01N23/20008;G01N23/20025;G01N1/28
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 鄭海峰

1.一種適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，包括樣品桿桿頭(1)、樣品桿桿身和手握柄(4)，所述的樣品桿桿身由同軸設(shè)置的前端細(xì)桿(2)和后端粗桿(3)組成，所述的前端細(xì)桿(2)的一端與后端粗桿(3)的一端通過密封圈(10)連接，前端細(xì)桿(2)的另一端與樣品桿桿頭(1)連接，后端粗桿(3)的另一端與手握柄(4)連接；其特征在于：

所述的樣品桿桿頭(1)上設(shè)置有微型電磁鐵(6)及載物臺；所述的微型電磁鐵固定在靠近前端細(xì)桿(2)的一側(cè)，載物臺固定在另一側(cè)，所述的載物臺上靠近微型電磁鐵的一側(cè)設(shè)有半圓形通孔以及用于夾持待測樣品的半環(huán)形凹槽，且所述的半圓形通孔與半環(huán)形凹槽同心，且半環(huán)形凹槽半徑大于半圓形通孔；

所述的手握柄(4)、后端粗桿(3)和前端細(xì)桿(2)的內(nèi)部設(shè)有第一導(dǎo)槽(7)，所述的樣品桿桿頭內(nèi)部設(shè)有第二導(dǎo)槽(19)，所述第二導(dǎo)槽(19)的一端連通第一導(dǎo)槽(7)，第二導(dǎo)槽(19)的另一端連通載物臺中的半環(huán)形凹槽；所述的第一導(dǎo)槽(7)內(nèi)布置有第一轉(zhuǎn)接導(dǎo)線和第二轉(zhuǎn)接導(dǎo)線，第一轉(zhuǎn)接導(dǎo)線和第二轉(zhuǎn)接導(dǎo)線的接電端位于手握柄(4)處，第一轉(zhuǎn)接導(dǎo)線的輸電端連接微型電磁鐵(6)，第二轉(zhuǎn)接導(dǎo)線的輸電端連接待測樣品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，所述微型電磁鐵(6)由微型密排螺線管(13)和鐵芯構(gòu)成，所述的鐵芯放置在微型密排螺線管(13)內(nèi)部軸線上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，所述微型密排螺線管(13)的外表面纏繞漆包銅導(dǎo)線，漆包銅導(dǎo)線的兩端與第一轉(zhuǎn)接導(dǎo)線形成閉合回路。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，所述的樣品桿桿頭通過夾具與前端細(xì)桿(2)連接，所述的夾具上還設(shè)有固定微型電磁鐵(6)的限位槽；所述的夾具包括上夾具(17)和下夾具(18)，所述的上夾具(17)和下夾具(18)通過螺栓調(diào)節(jié)夾緊力。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，所述的載物臺包括固定底片(14)和壓蓋片(15)，所述的固定底片(14)和壓蓋片(15)上設(shè)有相匹配的半圓形通孔；所述的半環(huán)形凹槽設(shè)置在固定底片(14)上，半圓形凹槽與第二導(dǎo)槽(19)連通，環(huán)形凹槽的高度與FIB技術(shù)制樣的樣品高度相匹配；所述的半環(huán)形凹槽位于微型電磁鐵的軸線上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，所述的固定底片(14)和壓蓋片(15)上設(shè)有四個螺紋孔(16)，通過自鎖螺釘壓緊固定。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，所述的四個螺紋孔(16)在載物臺上呈等腰梯形布置，等腰梯形的底邊垂直于樣品桿的軸線，且底邊靠近半環(huán)形凹槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，所述的手握柄(4)側(cè)面和樣品桿身中的前端細(xì)桿(2)均設(shè)有導(dǎo)向銷(8)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，前端細(xì)桿(2)和后端粗桿(3)通過錐形過渡段(9)連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于FIB技術(shù)制樣的透射電子顯微鏡磁電原位樣品桿，其特征在于，所述后端粗桿(3)與手握柄(4)連接處設(shè)有一個分線接頭(11)，第一轉(zhuǎn)接導(dǎo)線和第二轉(zhuǎn)接導(dǎo)線通過分線接頭(11)進(jìn)入手握柄(4)內(nèi)部后經(jīng)引出口向外伸出，最后連接至透射電子顯微鏡外部的控制裝置中。