[發明專利]一種微型濺射離子泵等離子體診斷裝置及診斷方法

有效

• 申請號: 202011467195.2
• 申請日: 2020-12-14
• 公開（公告）號: CN112820618B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 郭美如;成永軍;孫雯君;耿健;李亞麗;王曉冬;習振華;任正宜;吳成耀
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 代麗

1.一種微型濺射離子泵等離子體診斷裝置，其特征在于，包括：角閥(1)、分子泵(2)、機械泵(3)、等離子體診斷器(4)和容納泵腔體(5)；

其中，角閥(1)的一端順次連接分子泵(2)和機械泵(3)，角閥(1)的另一端與容納泵腔體(5)連接；容納泵腔體(5)上設有磁懸浮轉子計(9)和第一閥門(10)；第一閥門(10)通過供氣管路(8)與氣體微流量計(7)連接；容納泵腔體(5)與等離子體診斷器(4)中的法蘭蓋(22)的底部固定；

等離子體診斷器(4)包括電機(13)、上部支架(15)、滑塊(16)、光桿(18)、底部支架(20)、法蘭蓋(22)和朗繆爾探針(23)；其中，法蘭蓋(22)通過螺栓與容納泵腔體(5)固定連接，法蘭蓋(22)上均勻分布多根接線柱(21)，微型濺射離子泵(24)通過接線柱(21)懸掛在容納泵腔體(5)中，并得到供電；底部支架(20)為軸心帶通孔的圓柱體結構，且部分圓柱體穿過法蘭蓋(22)上設置的通孔，處于容納泵腔體(5)內；底部支架(20)未處于容納泵腔體(5)內圓柱體的端面向外側延伸形成平臺；光桿(18)為兩個L型光滑圓柱桿，光桿(18)長邊的端部與所述底部支架(20)的平臺固定，短邊的端部與位于法蘭蓋(22)上方的電機(13)固定；電機(13)底部接有絲杠(14)，絲杠(14)與上部支架(15)通過螺紋連接；上部支架(15)與滑塊(16)固定，滑塊(16)卡在光桿(18)上；波紋管(17)的一端與滑塊(16)連接，另一端與底部支架(20)密封連接；朗繆爾探針(23)的一端固定在滑塊(16)的底部，另一端通過波紋管(17)、底部支架(20)通孔伸入微型濺射離子泵(24)側邊空隙中。

2.如權利要求1所述的微型濺射離子泵等離子體診斷裝置，其特征在于，還包括測試罩(6)，測試罩(6)位于角閥(1)和容納泵腔體(5)之間，且與角閥(1)和容納泵腔體(5)連通；容納泵腔體(5)上的磁懸浮轉子計(9)、第一閥門(10)和第二閥門(11)均設在測試罩(6)上。

3.如權利要求2所述的微型濺射離子泵等離子體診斷裝置，其特征在于，所述測試罩(6)上還設有第二閥門(11)，第二閥門(11)與電離真空計(12)連接，用于測量測試罩(6)內壓力。

4.如權利要求1所述的微型濺射離子泵等離子體診斷裝置，其特征在于，所述容納泵腔體(5)上還設有第二閥門(11)，第二閥門(11)與電離真空計(12)連接，用于測量容納泵腔體(5)內壓力。

5.如權利要求1所述的微型濺射離子泵等離子體診斷裝置，其特征在于，所述朗繆爾探針為鎢絲材質，探針前端直徑0.175毫米。

6.如權利要求1所述的微型濺射離子泵等離子體診斷裝置，其特征在于，所述底部支架(20)上焊有墊片(19)，墊片(19)的另一端焊接波紋管(17)。