[發(fā)明專利]光纖探針陣列的校準結構及其校準方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011463882.7
• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號: CN112611543B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發(fā)明（設計）人: 馮朋;劉敏;肖希;王磊;吳定益
• 申請（專利權）人: 武漢光谷信息光電子創(chuàng)新中心有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;G01D18/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權代理有限公司 11270
• 代理人: 李路遙;張穎玲

本申請實施例提供一種光纖探針陣列的校準結構及其校準方法，校準結構包括多個光電探測器以及多個光柵耦合器，光電探測器能夠與光纖探針陣列排列方向上的至少兩個探針一一對應，光電探測器用于將來自對應的探針的測試光束轉換為電信號；光柵耦合器能夠與光纖探針陣列對應的排列方向上的至少兩個探針一一對應，光柵耦合器用于將測試光束傳輸至對應的探針、或接收來自對應的探針的測試光束，本申請實施例提供的校準結構以及校準方法成本較低，校準效率高。

技術領域

本申請涉及半導體集成技術領域，尤其涉及一種光纖探針陣列的校準結構及其校準方法。

背景技術

現(xiàn)有技術中，光纖探針陣列的校準通常采用校準片，需要高精度的設備測定探針發(fā)射的測試光束的光路來校準光纖探針陣列的位置，校準片的結構復雜，校準方法復雜。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請實施例期望提供一種簡單的光纖探針陣列的校準結構及其校準方法，為達到上述有益效果，本申請實施例的技術方案是這樣實現(xiàn)的：

本申請實施例一種光纖探針陣列的校準結構，包括：

多個光電探測器，能夠與所述光纖探針陣列排列方向上的至少兩個探針一一對應，所述光電探測器用于將來自對應的所述探針的測試光束轉換為電信號；以及

多個光柵耦合器，能夠與所述光纖探針陣列對應的所述排列方向上的至少兩個探針一一對應，所述光柵耦合器用于將測試光束傳輸至對應的所述探針、或接收來自對應的所述探針的測試光束。

一些實施例中，多個所述光柵耦合器順次間隔排列，所述光柵耦合器與對應的所述排列方向的所述探針一一對應，所述光柵耦合器總數(shù)量的一半為輸入耦合器，所述光柵耦合器總數(shù)量的另一半為輸出耦合器，所述輸入耦合器和所述輸出耦合器一一對應。

一些實施例中，相鄰的兩個所述光柵耦合器之間設置有所述光電探測器。

一些實施例中，所述光柵耦合器的總數(shù)量和所述光電探測器的總數(shù)量之和、與對應的所述排列方向上的所述探針的總數(shù)量相等。

一些實施例中，所述校準結構包括：

多個電極，每個所述光電探測器電連接兩個所述電極，所述電極用于測定對應的所述光電探測器的電信號。

一些實施例中，所述電極包括正極和負極；

所述正極的總數(shù)量和所述光電探測器的總數(shù)量一致，所述負極的數(shù)量為一個，每個所述光電探測器電連接一個所述正極，所有所述光電探測器與所述負極電連接；或所述負極的總數(shù)量和所述光電探測器的總數(shù)量一致，所述正極的數(shù)量為一個，每個所述光電探測器電連接一個所述負極，所有所述光電探測器與所述正極電連接。

一些實施例中，其中兩個所述光柵耦合器能夠與對應的所述排列方向上間隔距離最大的兩個所述探針一一對應；

或，其中兩個所述光電探測器能夠與對應的所述排列方向上間隔距離最大的兩個所述探針一一對應。

本申請實施例另一方面提供一種光纖探針陣列的校準方法，包括：

所述光纖探針陣列排列方向上的至少兩個探針與光電探測器一一對應，多個所述光電探測器沿第一方向排列，所述光纖探針陣列繞第一轉動中心轉動、以及沿上下方向平移，直至每個與所述探針對應的所述光電探測器的電信號與第一理想值之間的相對誤差在第一預設值以內(nèi)，確定所述光纖探針陣列在所述上下方向上的位置；

所述光纖探針陣列對應的所述排列方向上的至少兩個探針與光柵耦合器一一對應，所述光纖探針陣列繞第二轉動中心轉動，直至每個輸出的所述測試光束的光功率與第二理想值之間的相對誤差在第二預設值以內(nèi)，確定所述光纖探針陣列在第二方向上的位置，其中，所述第一方向、所述第二方向、以及所述上下方向相互垂直，所述第一轉動中心沿所述第二方向延伸，所述第二轉動中心沿所述上下方向延伸。