[發(fā)明專利]半導(dǎo)體檢測裝置及檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011462503.2
• 申請日: 2020-12-14
• 公開（公告）號: CN112485272B
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李海鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 紫創(chuàng)（南京）科技有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;H01L21/66
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張洋

1.一種半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，包括：

晶圓承載裝置，用于承載待測晶圓；

入射光系統(tǒng)，用于向所述待測晶圓發(fā)射入射光，所述入射光與第一方向之間具有夾角，所述入射光經(jīng)所述待測晶圓的反射形成反射光，所述第一方向為垂直于所述待測晶圓表面的法線方向，并且，所述入射光系統(tǒng)包括監(jiān)控單元，用于獲取入射光信息，并將所述入射光信息反饋至控制系統(tǒng)，所述入射光信息包括第一光功率；

光學(xué)信號分揀系統(tǒng)，用于自所述反射光中分揀出基波光信號和諧波光信號；

傳感系統(tǒng)，用于接收所述基波光信號，并根據(jù)所述基波光信號獲取位置信息，所述傳感系統(tǒng)還包括功率讀取模塊，用于根據(jù)所述基波光信號獲取第二光功率，并將所述第二光功率發(fā)送至控制系統(tǒng)；

諧波信號采集系統(tǒng)，用于獲取所述諧波光信號，并將所述諧波光信號傳輸至缺陷檢測單元；

控制系統(tǒng)，用于接收所述位置信息，并根據(jù)所述位置信息，在所述第一方向上對所述晶圓承載裝置的高度進行調(diào)整，并且，所述控制系統(tǒng)還包括第二運算單元和缺陷檢測單元，所述第二運算單元用于根據(jù)所述第一光功率和第二光功率，獲取所述待測晶圓的材料的線性光學(xué)特性，所述缺陷檢測單元用于根據(jù)所述諧波光信號獲取所述待測晶圓的缺陷信息。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述傳感系統(tǒng)包括：第一接收模塊，用于接收所述基波光信號；位置信號讀取模塊，用于根據(jù)所接收的基波光信號，獲取所述位置信息。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)包括：第二接收模塊，所述第二接收模塊用于接收所述位置信息。

4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括：第一運算單元，用于根據(jù)所述位置信息計算并獲取移動信息，所述移動信息包括，所述待測晶圓在第一方向上的高度與預(yù)設(shè)高度之間的高度差。

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括：第一位置控制單元，用于接收所述移動信息，并根據(jù)所述移動信息，在所述第一方向上移動所述晶圓承載裝置。

6.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括：比較單元，用于當(dāng)所述位置信息與預(yù)設(shè)位置信息之間的偏差超出偏差范圍時，輸出偏移信號。

7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括：第二位置控制單元，用于根據(jù)所述偏移信號在所述第一方向上移動所述晶圓承載裝置。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括：反饋單元，用于獲取所述晶圓承載裝置的移動信息，并向所述入射光系統(tǒng)發(fā)送入射光控制信息。

9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述光學(xué)信號分揀系統(tǒng)包括雙色鏡，用于通過所述反射光中的所述基波光信號，并將所述反射光中的諧波光信號向所述諧波信號采集系統(tǒng)反射，或者用于通過所述反射光中的諧波光信號，并將所述反射光中的所述基波光信號向所述傳感系統(tǒng)反射。

10.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述入射光系統(tǒng)包括：光源，用于發(fā)射初始入射光；調(diào)制單元，用于調(diào)制所述初始入射光的光強、偏振參數(shù)和焦距中的一者或多者，以發(fā)出所述入射光。

11.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述晶圓承載裝置包括：承載盤，用于承載待測晶圓；設(shè)置于所述承載盤的固定裝置，用于將待測晶圓固定于所述承載盤；機械移動組件，用于驅(qū)動所述承載盤移動。

12.如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體檢測裝置，其特征在于，所述固定裝置為真空吸盤或固定于承載盤邊緣的卡扣。