[發明專利]彈性波濾波器裝置

在審

• 申請號: 202011462064.5
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN112600532A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 道上彰
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64;H03H9/145
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

1.一種彈性波濾波器裝置，具備：

第一輸入輸出端子以及第二輸入輸出端子，輸入或輸出高頻信號；

第一串聯臂諧振器，設置在將所述第一輸入輸出端子和所述第二輸入輸出端子連結的路徑，由彈性波諧振器構成；

第一并聯臂諧振器，設置在將第一節點和接地連結的路徑，所述第一節點是將所述第一輸入輸出端子和所述第二輸入輸出端子連結的路徑上的節點；以及

第二并聯臂諧振器，設置在將第二節點和接地連結的路徑，所述第二節點是將所述第一輸入輸出端子和所述第二輸入輸出端子連結的路徑上的節點，

所述第一串聯臂諧振器以及所述第一并聯臂諧振器各自至少具有壓電體以及IDT電極，

所述第一并聯臂諧振器還具有形成在所述第一并聯臂諧振器的所述壓電體與所述IDT電極之間并對有效機電耦合系數進行調整的第一電介質層，

在所述第二并聯臂諧振器的所述壓電體與所述IDT電極之間未形成對有效機電耦合系數進行調整的電介質層。

2.根據權利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其中，

在構成所述彈性波濾波器裝置的并聯臂諧振器之中，所述第一并聯臂諧振器的有效機電耦合系數最小。

3.根據權利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其中，

具備包含所述第一串聯臂諧振器的合計至少一個串聯臂諧振器和包含所述第一并聯臂諧振器以及所述第二并聯臂諧振器的至少兩個并聯臂諧振器。

4.根據權利要求3所述的彈性波濾波器裝置，其中，

所述至少一個串聯臂諧振器以及所述至少兩個并聯臂諧振器分別為聲表面波諧振器。

5.根據權利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其中，

所述第一并聯臂諧振器還具備覆蓋所述第一并聯臂諧振器的所述IDT電極并對有效機電耦合系數進行調整的第二電介質層。

6.根據權利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其中，

還具備：電容器，與所述第一并聯臂諧振器并聯連接。

7.根據權利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其中，

還具備：電感器，與所述第一并聯臂諧振器并聯連接。

8.根據權利要求4所述的彈性波濾波器裝置，其中，

所述至少一個串聯臂諧振器各自由被串聯分割的至少兩個彈性波諧振器構成。

9.根據權利要求4所述的彈性波濾波器裝置，其中，

所述至少兩個并聯臂諧振器各自由被串聯分割的至少兩個彈性波諧振器構成。

10.根據權利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其中，

所述第一串聯臂諧振器和所述第一并聯臂諧振器中的至少一者的所述IDT電極由層疊金屬膜結構構成。

11.根據權利要求10所述的彈性波濾波器裝置，其中，

所述層疊金屬膜結構從所述第一串聯臂諧振器和所述第一并聯臂諧振器中的至少一者的壓電體側起依次層疊由NiCr構成的第一金屬膜、由Pt構成的第二金屬膜、由Ti構成的第三金屬膜、由Al構成的第四金屬膜、以及由Ti構成的第五金屬膜而形成。

12.根據權利要求11所述的彈性波濾波器裝置，其中，

在構成層疊金屬膜結構的金屬膜之中，所述第二金屬膜的密度最高。

13.根據權利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其中，

所述第一串聯臂諧振器和所述第一并聯臂諧振器中的至少一者的所述IDT電極由Ti、Al、Cu、Pt、Au、Ag、Pd的金屬或合金中的至少一種構成。

14.根據權利要求1所述的彈性波濾波器裝置，其中，

所述第一電介質層由SiO₂、SiN、AlN或聚酰亞胺中的至少一種構成。