[發明專利]檢測裝置、激光等離子光源及其調節方法在審
| 申請號： | 202011459983.7 | 申請日： | 2020-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN112629654A | 公開（公告）日： | 2021-04-09 |
| 發明（設計）人： | 鄭睿;肖鵬;謝慶國;鐘勝;王衛東;唐江;褚倩;白翔 | 申請（專利權）人： | 蘇州瑞派寧科技有限公司 |
| 主分類號： | G01J1/00 | 分類號： | G01J1/00;G01J1/42;H01S3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215163 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 裝置 激光 等離子 光源 及其 調節 方法 | ||
1.一種檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置包括：
探測器，所述探測器設置于激光等離子光源的真空室內；
控制器，所述控制器與所述探測器連接并接收所述探測器獲取的反饋信號，所述控制器根據所述反饋信號判斷所述激光等離子光源的發光情況。
2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述探測器為光學探測器，所述光學探測器將所述激光等離子光源產生的光信號轉換為電信號，所述電信號為反饋信號。
3.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述光學探測器為光電二極管或者耦合有濾片的光電二極管。
4.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述探測器為聲學探測器，所述聲學探測器將所述激光等離子光源的殘余激光與激光收集器作用而產生的聲信號轉換為電信號，所述電信號為反饋信號。
5.根據權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述聲學探測器為聲音傳感器或者耦合有濾波器的聲音傳感器。
6.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括顯示器或計算機，所述顯示器或所述計算機與所述控制器連接以顯示所述控制器的判斷結果。
7.一種激光等離子光源，其特征在于，包括如權利要求1-6中任一項所述的檢測裝置。
8.根據權利要求7所述的激光等離子光源，其特征在于，所述激光等離子光源還包括：
激光器，所述激光器發出激光束；
反射鏡，所述反射鏡設置于所述激光束的光路上以反射所述激光束；
聚焦鏡，所述聚焦鏡設置于真空室上，所述聚焦鏡同時位于所述激光束的光路上并將所述激光束聚焦；以及
靶材，所述靶材位于所述真空室內，所述激光束作用于所述靶材。
9.根據權利要求8所述的激光等離子光源，其特征在于，所述激光等離子光源還包括驅動器，所述驅動器與所述控制器連接以接收所述控制器產生的調節指令，所述反射鏡設置于所述驅動器上。
10.根據權利要求9所述的激光等離子光源，其特征在于，所述驅動器包括電機、電動旋轉臺、電動微分頭。
11.根據權利要求9所述的激光等離子光源，其特征在于，所述反射鏡的調節角度介于-5°-5°之間。
12.根據權利要求9所述的激光等離子光源，其特征在于，所述激光器發出的激光束為單脈沖激光束，所述單脈沖激光束的能量不低于100mJ，持續時間不超過10ns。
13.根據權利要求9所述的激光等離子光源，其特征在于，所述反射鏡采用與所述激光束的波長匹配的光學鍍膜鏡片。
14.根據權利要求9所述的激光等離子光源，其特征在于，所述聚焦鏡采用與所述激光束的波長匹配的鍍膜平凸透鏡。
15.根據權利要求9所述的激光等離子光源，其特征在于，所述聚焦鏡的焦距根據以下公式進行確定：
S＝4M2lf/(πD)
其中，S為所述激光束聚焦后的聚焦光斑的面積，M為所述激光束的激光模式，l為所述激光束的波長，f為所述聚焦鏡的焦距，D為所述激光束的光束直徑。
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