[發(fā)明專(zhuān)利]一種激光器離線調(diào)試裝置的調(diào)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011459953.6
• 申請(qǐng)日: 2020-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112563865B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李旭東;閆仁鵬;陳德應(yīng);樊榮偉;董志偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01S3/00
• 分類(lèi)號(hào): H01S3/00;H01S3/081;H01S3/086
• 代理公司: 哈爾濱龍科專(zhuān)利代理有限公司 23206
• 代理人: 高媛

1.一種激光器離線調(diào)試裝置的調(diào)試方法，所述方法是通過(guò)調(diào)試裝置實(shí)現(xiàn)的，所述調(diào)試裝置包括電腦（8）以及兩組調(diào)試機(jī)構(gòu)；所述兩組調(diào)試機(jī)構(gòu)鏡像設(shè)置且每組調(diào)試機(jī)構(gòu)均包括激光器（1）、第一反射鏡（2）、第二反射鏡（3）、CCD相機(jī)（5）、第三反射鏡（6）以及諧振腔鏡（7）；所述激光器（1）發(fā)射的激光經(jīng)第一反射鏡（2）反射至第二反射鏡（3）后再反射至諧振腔鏡（7），激光器（1）發(fā)射的激光與第二反射鏡（3）反射至諧振腔鏡（7）的反射光平行；所述諧振腔鏡（7）的反射光經(jīng)第三反射鏡（6）反射后進(jìn)入CCD相機(jī)（5）的中心，諧振腔鏡（7）的反射光與第三反射鏡（6）的反射光垂直；兩組調(diào)試機(jī)構(gòu)的CCD相機(jī)（5）的信號(hào)輸出端均與電腦（8）連接；其特征在于：所述方法包括如下步驟：

S1：在兩處諧振腔鏡（7）的位置處安裝輔助鏡片；

S2：調(diào)試激光器（1）的諧振腔，使激光器（1）獲得最佳輸出；

S3：依次擺放激光器（1）、第一反射鏡（2）、第二反射鏡（3）、小孔光闌（4）、CCD相機(jī)（5）、第三反射鏡（6）以及電腦（8）；

S4：調(diào)整第一反射鏡（2）以及第二反射鏡（3）的位置和角度，使激光器（1）發(fā)射的激光與第二反射鏡（3）反射至諧振腔鏡（7）的反射光平行；

S5：調(diào)整第三反射鏡（6）的位置和角度，使諧振腔鏡（7）的反射光經(jīng)第三反射鏡（6）反射后進(jìn)入CCD相機(jī)（5）的中心；

S6：再次調(diào)整第二反射鏡（3）的角度，并調(diào)整小孔光闌（4）的位置，使第二反射鏡（3）的反射光由小孔光闌（4）中心入射后，再由對(duì)應(yīng)的諧振腔鏡（7）反射后對(duì)稱(chēng)照射到所述小孔光闌（4）上；

S7：將CCD相機(jī)（5）連接到電腦（8）上，

S8：在電腦（8）上記錄兩個(gè)CCD相機(jī)（5）采集到的兩組調(diào)試機(jī)構(gòu)的光斑位置，分別記為位置I和位置II；

S9：取下輔助鏡片，將待調(diào)試的兩個(gè)諧振腔鏡（7）分別放置在對(duì)應(yīng)的位置處；

S10：調(diào)節(jié)兩個(gè)諧振腔鏡（7）的角度，使其反射到對(duì)應(yīng)的CCD相機(jī)（5）中心的反射光成像到S8所述的對(duì)應(yīng)的位置I或位置II；

S11：觀察S10所述的位置I或位置II與S8所述的位置I或位置II的光斑位置是否一致；若二者一致，則結(jié)束調(diào)整；若二者不一致，則重復(fù)S10。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光器離線調(diào)試裝置的調(diào)試方法，其特征在于：所述激光器（1）發(fā)射He-Ne激光。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種激光器離線調(diào)試裝置的調(diào)試方法，其特征在于：所述第一反射鏡（2）、第二反射鏡（3）以及第三反射鏡（6）均為平面鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種激光器離線調(diào)試裝置的調(diào)試方法，其特征在于：所述激光器（1）與對(duì)應(yīng)的諧振腔鏡（7）之間的光程大于1.5m。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種激光器離線調(diào)試裝置的調(diào)試方法，其特征在于：所述第二反射鏡（3）與對(duì)應(yīng)的諧振腔鏡（7）之間設(shè)有小孔光闌（4）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種激光器離線調(diào)試裝置的調(diào)試方法，其特征在于：所述小孔光闌（4）的孔徑小于1mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種激光器離線調(diào)試裝置的調(diào)試方法，其特征在于：所述CCD相機(jī)（5）的分辨率不低于2592×2048。