[發(fā)明專利]一種防止OLED材料受熱老化的加熱裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011457539.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112575293A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫浩;李牧詞;茆勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市智聯(lián)匯網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)企業(yè)（有限合伙）
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 上海洞鑒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31346
• 代理人: 劉少偉

本發(fā)明為涉及一種防止OLED材料受熱老化的加熱裝置，包括：坩堝主體、加熱模塊、冷卻模塊、動(dòng)力機(jī)構(gòu)，在所述坩堝主體填充有物料，包括位于所述坩堝主體的上部的蒸發(fā)區(qū)和位于所述坩堝主體的下部的冷卻區(qū)；動(dòng)力機(jī)構(gòu)設(shè)置所述的坩堝主體的底部，用以推動(dòng)所述物料在坩堝主體內(nèi)移動(dòng)。有益效果是：通過(guò)在加熱源中增加水冷組件，有效的防止了加熱源內(nèi)OLED材料長(zhǎng)時(shí)間受熱老化的問(wèn)題，可大幅提升單次加入OLED材料的量，從而實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的加料周期，顯著提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及加熱裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種防止OLED材料受熱老化的加熱裝置。

背景技術(shù)

OLED有機(jī)發(fā)光二極管，是一種利用多層有機(jī)薄膜結(jié)構(gòu)產(chǎn)生電致發(fā)光的器件。按照OLED有機(jī)發(fā)光材料可分為小分子材料器件和高分子材料器件，這兩種器件的主要差別在制作工藝上，小分子器件主要采用的是真空蒸鍍工藝，高分子器件采用的是旋轉(zhuǎn)涂覆或者是噴涂印刷工藝。目前原材料和器件制造工藝較為成熟的是通過(guò)真空蒸鍍工藝制備的小分子OLED材料器件。

一方面，OLED有機(jī)發(fā)光材料具有活性高、易氧化的特點(diǎn)，一旦長(zhǎng)時(shí)間于空氣接觸就會(huì)和空氣中的水汽和氧氣發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致發(fā)光效率降低、電壓升高、壽命縮短等一系列問(wèn)題，因此我們希望盡量減少OLED材料與空氣接觸的時(shí)間。另一方面，OLED真空蒸鍍工藝需要極高的真空度來(lái)確保OLED薄膜的成膜質(zhì)量，每次開(kāi)腔室加料后，需要等待較長(zhǎng)的抽真空時(shí)間，鍍膜腔室才能恢復(fù)滿足工藝要求的真空狀態(tài)。

因?yàn)榛谏鲜鰞蓚€(gè)原因，在生產(chǎn)過(guò)程中，我們希望每次加料時(shí)盡可能多的在坩堝中添加OLED材料，以延長(zhǎng)加料周期，減少加料的頻次，減少OLED 材料與空氣接觸的時(shí)間，避免OLED材料發(fā)生氧化，減少維護(hù)時(shí)間和抽真空的時(shí)間，提高設(shè)備生產(chǎn)效率。

但是，如果一次在加熱源中加入過(guò)多的OLED材料，又不能及時(shí)使用完， OLED材料長(zhǎng)時(shí)間處于高溫狀態(tài)下容易發(fā)生分解和變性，導(dǎo)致材料純度降低和性能下降。該問(wèn)題大大限制了我們每次添加OLED材料的量，使得我們無(wú)法通過(guò)一次加入盡可能多的OLED材料的辦法，來(lái)延長(zhǎng)加料周期和提高生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種防止OLED材料受熱老化的加熱裝置，可防止OLED材料在工藝過(guò)程中出現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間受熱后老化的問(wèn)題，通過(guò)一次加入更多的OLED材料，實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的加料周期，顯著提高生產(chǎn)效率。

本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種防止OLED材料受熱老化的加熱裝置，包括：

坩堝主體，在所述坩堝主體填充有物料，包括位于所述坩堝主體的上部的蒸發(fā)區(qū)和位于所述坩堝主體的下部的冷卻區(qū)；

加熱模塊，設(shè)置在所述蒸發(fā)區(qū)的外側(cè)；

冷卻模塊，設(shè)置在所述冷卻區(qū)的外側(cè)；

動(dòng)力機(jī)構(gòu)，設(shè)置所述的坩堝主體的底部，用以推動(dòng)所述物料在坩堝主體內(nèi)移動(dòng)。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述加熱模塊包括由環(huán)繞在所述坩堝主體外側(cè)的線圈組成的渦流加熱裝置，所述線圈用于通入交變電流，對(duì)所述坩堝主體的上部進(jìn)行加熱，以實(shí)現(xiàn)物料的熔化、蒸發(fā)。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述交變電流的頻率為5Hz-500000Hz。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述冷卻模塊包括由環(huán)繞在所述坩堝主體外側(cè)的冷卻管組成的水冷組件，所述冷卻管內(nèi)填充有冷卻液，在所述冷卻液的循環(huán)作用下，使得所述物料保持低溫狀態(tài)，不會(huì)因長(zhǎng)時(shí)間受熱而老化。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述冷卻液為沸點(diǎn)穩(wěn)定的液體介質(zhì)，例如水或油。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述坩堝主體底部的活塞，以及推動(dòng)所述活塞在坩堝主體內(nèi)移動(dòng)的推桿。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)還包括驅(qū)動(dòng)所述推桿的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。