[發明專利]一種多工位切片機

在審

• 申請號: 202011457000.6
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN112356329A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 張璐;孫承政;宮云慶;范國強;劉鋼;尚豐彥;張新愷
• 申請（專利權）人: 青島高測科技股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 于晶晶

本發明公開一種多工位切片機，包括至少兩個用于切片的切割區總成、以及用于提供切割液和冷卻液的液路總成，該多個切割區總成共用液路總成。通過設置多個切割區總成，即多個切割區，可將切片機的切割能力提高1倍以上，不僅提高了產能，實現單位面積產能翻倍，還能提高廠房空間的利用率；同時，通過設置液路總成和油氣總成配合切割區總成完成切割，可實現高效、高質量的硬脆材料切割。

技術領域

本發明屬于硅棒切片領域，具體地說涉及一種多工位切片機。

背景技術

硅片成形是指將硅棒制成硅晶片的工藝過程，目前，采用多線切割法進行切片最為普遍。在實際生產過程中，切片機往往只有一個切割區總成，即一個切割區，一個切割區只能形成一個切割工位，這就造成一個切割周期只能對單個切割工位上的硬脆材料進行切割，嚴重限制了切片機的切割能力和效率；通過增加切片機的數量來提高切割能力和效率，又會帶來占用更多廠房用地面積的難題，很多企業由于不能擴大廠房面積而不能實現擴大生產規模；增加切片機的數量還意味著增加設備資金的投入，對于高價格的切片機來說，也是企業不容易實現生產規模擴大的因素；切片機的換熱功能的實現需要眾多管路進行循環流動，而現有設備管路較為分散，不利于管理；現有切片機通常需要專業技術人員進行長達幾周的現場安裝工作，不利于服務遠距離客戶，且對安裝人員的技術水平要求較高，因而人員成本也較高。

因此，現有技術還有待于進一步發展和改進。

發明內容

針對現有技術的種種不足，為了解決上述問題，現提出一種多工位切片機。本發明提供如下技術方案：

一種多工位切片機，包括至少兩個用于切片的切割區總成、以及用于提供切割液和冷卻液的液路總成，該多個切割區總成共用液路總成。

進一步的，各切割區總成呈中心對稱或左右對稱排布。

進一步的，多工位切片機為包括兩切割區總成的雙工位切片機，兩切割區總成左右對稱排布，液路總成和電氣總成位于兩切割區總成中間位置。

進一步的，所述電氣總成包括集中設置于一側的電控柜或者基于兩切割區總成分別設置于兩側的電控柜。

進一步的，所述液路總成包括用于提供切割液的切割供液組件和用于冷卻設備及切割液的集中冷卻組件，所述切割供液組件內的切割液通過管路輸入集中冷卻組件內。

進一步的，所述集中冷卻組件設置于切割供液組件的后方或上方。

進一步的，所述切割供液組件包括用于存放多個切割區總成切割液的切割供液缸和用于泵送切割液到多個切割區總成的供液泵，供液泵將切割供液缸內的切割液泵送到各切割區總成。

進一步的，所述集中冷卻組件包括用于給切片機設備降溫的冷卻液換熱組件和用于給切割液降溫的切割液換熱組件。

進一步的，所述冷卻液換熱組件包括用于存放冷卻液的冷卻液水箱、用于泵送冷卻液的冷卻液泵和用于給冷卻液降溫的冷卻液換熱器，流經各切割區總成設備的冷卻液經冷卻液換熱器冷卻后流回冷卻液水箱。

進一步的，所述切割液換熱組件包括用于過濾泵送出切割液的過濾桶以及用于給切割液降溫的切割液換熱器，切割液先經過濾桶過濾后流入切割液換熱器內降溫，再輸送到各切割區。

進一步的，各切割區總成通過同一連接結構實現物理連接，液路總成通過連接結構與各切割區總成連接為一整體。

進一步的，各切割區總成可拆卸地連接于連接結構上，連接結構上設置有用于連接各切割區總成的連接位點，同時連接結構上還設有連接更多切割區總成的預留連接位點。

進一步的，所述連接結構為連接橫梁或連接框架。

進一步的，所述切割區總成包括防護機構及位于防護機構內部的進給機構和線鋸機構。

有益效果：