[發明專利]靶材切割研磨廢液的回收方法在審
| 申請號： | 202011456662.1 | 申請日： | 2020-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN112538398A | 公開（公告）日： | 2021-03-23 |
| 發明（設計）人： | 耿瑞麗;高世秀;張文濤;童培云;何坤鵬;鐘小華 | 申請（專利權）人： | 先導薄膜材料（廣東）有限公司 |
| 主分類號： | C10M175/00 | 分類號： | C10M175/00;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 張向琨 |
| 地址： | 511517 廣東省清*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 切割 研磨 廢液 回收 方法 | ||
1.一種靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，包括步驟：
步驟一：將主要成分為靶材切割研磨粉料、水和切削液的靶材切割研磨廢液進行固液分離，以得到切削液和水的第一混合物以及含有少量切削液和水的靶材切割研磨粉料的第二混合物；
步驟二：將第一混合物靜置分層，上層為切削液而下層為水，將上層的切削液收集到切削液回收瓶中；
步驟三：將第二混合物進行旋蒸，在減壓條件下采用不同的加熱溫度先將水蒸出、之后將切削液蒸出并收集，蒸出水和切屑液之后剩下的是靶材切割研磨粉料；
步驟四：將步驟三獲得的靶材切割研磨粉料依次進行水洗和烘干，得到干凈的靶材切割研磨粉料。
2.根據權利要求1所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
在步驟一中，切削液的組成為2-氨基乙醇、3,3’-亞甲基雙(5-甲基噁唑啉)、2,2’,2”-次氨基三乙醇，
以切削液總重量計：2-氨基乙醇為20-30％，3,3’-亞甲基雙(5-甲基噁唑啉)為30-40％，2,2’,2”-次氨基三乙醇為30-40％。
3.根據權利要求1所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
在步驟一中，固液分離采用離心分離。
4.根據權利要求1所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
在步驟二中，靜置10min-30min。
5.根據權利要求1所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
在步驟二中，將上層的切削液先收集到燒杯中，再向燒杯中加入無水硫酸鈉和/或無水硫酸鎂，靜置后，將切削液收集到切削液回收瓶中。
6.根據權利要求5所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
在步驟二中，以質量計，加入的無水硫酸鈉和/或無水硫酸鎂的量為第一混合物的0.2％-2％。
7.根據權利要求5所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
靜置的時間為10min-30min。
8.根據權利要求1所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
在步驟三中，減壓條件為55Pa-100Pa，蒸出水的加熱溫度為50℃-60℃，蒸出切削液的加熱溫度為65℃-85℃。
9.根據權利要求1所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
在步驟四中，水洗采用去離子水清洗2-5次。
10.根據權利要求1所述的靶材切割研磨廢液的回收方法，其特征在于，
在步驟四中，烘干的溫度為60℃-80℃，烘干的時間為3h-5h。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于先導薄膜材料（廣東）有限公司，未經先導薄膜材料（廣東）有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202011456662.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
