[發(fā)明專利]一種旋轉(zhuǎn)硅靶材薄壁深孔掏孔裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011456578.X
• 申請(qǐng)日: 2020-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN112620702A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范占軍;盛之林;馬曉林;盛旺;盧輝;商潤(rùn)龍;馮建寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北方民族大學(xué)
• 主分類號(hào): B23B41/00
• 分類號(hào): B23B41/00;B23B49/00;B23Q5/50
• 代理公司: 寧夏合天律師事務(wù)所 64103
• 代理人: 郭立寧

1.一種旋轉(zhuǎn)硅靶材薄壁深孔掏孔裝置，其特征在于，該裝置包括設(shè)備立式機(jī)架、由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的左滾珠絲杠導(dǎo)軌套裝、由手輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的右滾珠絲杠導(dǎo)軌套裝、上中下3個(gè)托板、4套中心自動(dòng)定位找正裝置6a、6b、6c、6d、掏孔磨削刀具及變頻調(diào)速減速電機(jī)、沖洗冷卻水系統(tǒng)、操作電控系統(tǒng)；所述設(shè)備立式機(jī)架由基礎(chǔ)大底板、兩根立柱和數(shù)條弧形加強(qiáng)筋板構(gòu)成，通過螺紋連接方式固定；所述2套左、右滾珠絲杠導(dǎo)軌套裝面對(duì)面顛倒安裝置于兩立柱內(nèi)側(cè)，每套滾珠絲杠導(dǎo)軌均配置2個(gè)滑臺(tái)，一個(gè)由絲杠旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)，一個(gè)無絲杠驅(qū)動(dòng)只依靠直線導(dǎo)軌上下自由滑動(dòng)；上托板通過角板一端連接絲杠驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)，一端連接另一個(gè)無滾珠絲杠的直線導(dǎo)軌自由滑臺(tái)，作為刀具上下進(jìn)給支撐托板，由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)上托板上下移動(dòng)；中托板同樣通過角板一端連接絲杠驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)，一端連接另無滾珠絲杠的直線導(dǎo)軌自由滑臺(tái)，作為工件長(zhǎng)度不同調(diào)節(jié)夾持鎖緊支撐托板，由手輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)中托板上下移動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)硅靶材薄壁深孔掏孔裝置，其特征在于，所述中心自動(dòng)定位找正裝置每套由3組定位滾輪副、3組調(diào)整塊組及中心定位盤、鎖緊盤、螺栓鎖緊器組成，定位滾輪副與調(diào)整塊組通過螺栓固定連接，調(diào)整塊組在中心定位盤圓周均布三個(gè)T形槽內(nèi)滑動(dòng)，鎖緊盤置于中心定位盤圓下部第二個(gè)臺(tái)階處，鎖緊盤上設(shè)置三道均勻分布的平滑圓弧槽體和一個(gè)垂直中心短條孔，3組調(diào)整塊組的下調(diào)整滑塊尾柱和螺栓鎖緊器的螺孔滑柱柱體，分別穿過中心定位盤置于平滑圓弧槽體內(nèi)和短條孔內(nèi)。

3.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)硅靶材薄壁深孔掏孔裝置，其特征在于，所述中心自動(dòng)定位找正裝置，2套中心自動(dòng)定位找正裝置6a、6b作為刀具上下夾持導(dǎo)向裝置，分別置于上托板下部及中拖板上部，通過3個(gè)聚氨酯滾輪同時(shí)向中心移動(dòng)自動(dòng)使刀具沿垂直中心定位，滾輪隨刀具外圓旋轉(zhuǎn)，減少超長(zhǎng)刀具旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)量，穩(wěn)定控制振幅；2套中心自動(dòng)定位找正裝置6c、6d作為工件上下位置夾持定位裝置，分別置于中托板下部及下拖板上，同樣通過3個(gè)聚氨酯固定輪夾持工件外圓，工件自動(dòng)沿垂直中心找正定位。

4.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)硅靶材薄壁深孔掏孔裝置，其特征在于，所述中心自動(dòng)定位找正裝置夾持刀具或工件分兩個(gè)步驟：第一步是將3組調(diào)整塊組的上調(diào)整塊與下調(diào)整滑塊上的鋸齒嚙合定位，調(diào)整成一致伸縮量尺寸，并用螺栓連接緊固；3組定位滾輪副安裝于調(diào)整塊組之上，安裝位置也有等間距三個(gè)位置，可作為調(diào)整伸縮量的一部分，3組定位滾輪副包圍的內(nèi)徑尺寸大于刀具或工件外圓直徑10mm左右；第二步是通過螺栓鎖緊器的長(zhǎng)螺栓旋轉(zhuǎn)使螺孔滑柱做直線運(yùn)動(dòng)，螺孔滑柱柱體帶動(dòng)鎖緊盤旋轉(zhuǎn)，鎖緊盤三道圓弧槽帶動(dòng)3組調(diào)整塊組在中心定位盤T型槽同時(shí)向中心移動(dòng)，使3組定位滾輪副同時(shí)向中心或反向運(yùn)動(dòng)，達(dá)到自動(dòng)找正中心夾持刀具或工件外圓目的。

5.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)硅靶材薄壁深孔掏孔裝置，其特征在于，所述調(diào)整塊組的鋸齒嚙合調(diào)節(jié)伸縮量為0-60mm，所述定位滾輪副安裝于調(diào)整塊組的等間距三處位置調(diào)節(jié)伸縮量為25或50mm，所述鎖緊盤上的平滑圓弧槽鎖緊量為0-28mm，滿足中心自動(dòng)定位找正裝置夾持刀具直徑范圍為Ф130-380mm，夾持工件直徑范圍為Ф150-400mm。

6.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)硅靶材薄壁深孔掏孔裝置，其特征在于，所述2套中心自動(dòng)定位找正裝置6a、6b，置于上托板下部和中托板上部，安裝的中心自動(dòng)定位找正裝置滾輪副位置錯(cuò)位60°，使刀具掏孔進(jìn)入工件后期，上下各3組滾輪副在高度上可插入重合，減少定制刀具的長(zhǎng)度。