[發(fā)明專利]一種晶圓用石英夾具及其使用方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011455244.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN112563188A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳厚澤;徐會(huì)剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林瑞能半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 吉林新發(fā)惠利知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 22216
• 代理人: 紀(jì)尚

本發(fā)明是一種晶圓用石英夾具及其使用方法，其中石英夾具結(jié)構(gòu)包括頂板、底板、立柱組，頂板與底板之間通過立柱組固定連接，立柱組包括立柱一、立柱二、立柱三、立柱四，立柱一、立柱三、立柱四各固定連接有間隔分布的十二個(gè)支撐柱，支撐柱用來支撐晶圓，支撐晶圓的部位采用三點(diǎn)觸角式球面支撐，支撐球頭表面光滑，不易形成尖銳突起，在使用過程中，直接用晶圓倒片器與石英夾具之間傳導(dǎo)晶圓，并在晶圓燒結(jié)的工序中對(duì)晶圓起到支撐、定位，避免與玻璃燒結(jié)爐刮碰的作用，能夠減少操作也節(jié)省了操作時(shí)間，減輕了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高勞動(dòng)效率，降低了生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種晶圓用石英夾具及其使用方法。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓，在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。在通過晶圓生產(chǎn)電子元件的過程中，需要在晶圓上涂刷玻璃粉，以保證在切割后能夠在芯片的側(cè)部形成玻璃保護(hù)層。

通常的此工藝過程采用玻璃燒結(jié)爐進(jìn)行燒制，燒制前需要在晶圓表面利用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)沉積玻璃粉，沉積玻璃粉后的晶圓由出口至玻璃倉(cāng)卸貨側(cè)片筐，側(cè)片框?yàn)榻饘倨穑枰獙⒔饘倨饍?nèi)的晶圓倒入白色的塑料片筐，然后站在玻璃燒結(jié)爐的爐槳旁邊，一手持白色的塑料片筐，一手用氣鑷子將晶圓逐片擺放到爐漿上的石英架上。這樣的操作對(duì)于操作員來講要求較高，操作員需要一只手持裝有沉積完玻璃粉晶圓的塑料片筐，塑料片筐盡量保持穩(wěn)定水平，另一只手用氣鑷子逐片將晶圓放到爐槳上的石英架上，石英架的縫隙為7毫米，需要操作員用氣鑷子將晶圓穿過這個(gè)7毫米縫隙放在石英架上。在這個(gè)過程中要求操作員必須十分小心，要保持晶圓的水平，不能在放置晶圓過程中觸碰到其它物體，而且要求將晶圓放置到石英架的中心位置(中心位置只能憑人為判斷，很難做到將晶圓準(zhǔn)確放到中心位置，也做不到每片晶圓位置相同，放不到中心位置就很有可能造成最上面的晶圓和玻璃燒結(jié)爐爐管內(nèi)壁相刮，并且燒結(jié)完畢的晶圓還需要使用氣鑷子從石英架上移動(dòng)至片框內(nèi)，整個(gè)流程繁瑣，并且容易造成晶圓刮碰到爐管內(nèi)壁或者與石英架發(fā)生刮碰，使玻璃粉掉落，導(dǎo)致影響良率。

因此為了提高晶圓工藝制程的質(zhì)量與效率，亟需發(fā)明一種晶圓用石英夾具及其使用方法，能夠縮短晶圓轉(zhuǎn)移時(shí)間和提高晶圓工藝質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種晶圓用石英夾具及其使用方法，通過新型的石英夾具可以提高操作人員的工作效率，同時(shí)避免晶圓與其它位置相碰影響質(zhì)量問題，并且使用方法簡(jiǎn)單，簡(jiǎn)化了原來的復(fù)雜操作。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種晶圓用石英夾具及其使用方法，所述石英夾具結(jié)構(gòu)包括頂板、底板、立柱組，所述頂板與底板之間通過立柱組固定連接，所述頂板表面設(shè)有七個(gè)圓形通孔，且其一側(cè)設(shè)有兩個(gè)直角缺口一，所述底板表面設(shè)有十個(gè)圓形通孔，且其一側(cè)設(shè)有兩個(gè)直角缺口二，所述底板的底部邊緣還設(shè)有四個(gè)長(zhǎng)方形的凸起一，所述頂板與底板均沿其橫向的中軸線結(jié)構(gòu)對(duì)稱，所述立柱組包括圓柱型的立柱一、立柱二、立柱三與立柱四，所述立柱一與立柱二之間的間距小于立柱三與立柱四之間的間距，所述立柱一、立柱三、立柱四上各固定連接有間隔分布的十二個(gè)支撐柱，且每層的所述支撐柱之間相互平行，所述立柱三上的支撐柱與立柱四上的相對(duì)應(yīng)的支撐柱中軸線共線，所述支撐柱包括支撐桿和支撐球頭，所述支撐桿的一端與支撐球頭固定連接，所述支撐球頭的直徑大于支撐桿的直徑，所述底板的上表面還設(shè)有四個(gè)球形的凸起二。

優(yōu)選地，所述凸起二的直徑與支撐球頭的直徑相同，且其中三個(gè)凸起二分別與立柱一、立柱三、立柱四上的支撐球頭在豎直方向上相互對(duì)應(yīng)。

優(yōu)選地，所述的一種晶圓用石英夾具及其使用方法，包括以下步驟：

步驟一：

將沉積完玻璃粉的金屬片筐內(nèi)的晶圓通過晶圓倒片器導(dǎo)入到石英夾具內(nèi)，每一片晶圓位于每一層的支撐柱上，最下面的一片晶圓位于凸起二上；

步驟二：