[發(fā)明專利]一種多工位切片機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011454191.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN112339150A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張璐;孫承政;宮云慶;范國(guó)強(qiáng);劉鋼;尚豐彥;張新愷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島高測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357
• 代理人: 于晶晶

本發(fā)明公開一種多工位切片機(jī)，包括至少兩個(gè)用于切片的切割區(qū)總成、用于提供切割液的切割供液組件、用于給切割液降溫的切割液換熱組件以及用于給切片機(jī)設(shè)備降溫的冷卻液換熱組件，每個(gè)切割區(qū)總成對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)切割液換熱組件，多個(gè)切割區(qū)總成共用一個(gè)冷卻液換熱組件。通過設(shè)置多個(gè)切割區(qū)總成，即多個(gè)切割區(qū)，可將切片機(jī)的切割能力提高1倍以上，不僅提高了產(chǎn)能，實(shí)現(xiàn)單位面積產(chǎn)能翻倍，還能提高廠房空間的利用率；同時(shí)，通過設(shè)置切割供液組件、切割液換熱組件、冷卻液換熱組件和油氣總成配合切割區(qū)總成完成切割，可實(shí)現(xiàn)高效、高質(zhì)量的硬脆材料切割。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于硅棒切片領(lǐng)域，具體地說涉及一種多工位切片機(jī)。

背景技術(shù)

硅片成形是指將硅棒制成硅晶片的工藝過程，目前，采用多線切割法進(jìn)行切片最為普遍。在實(shí)際生產(chǎn)過程中，切片機(jī)往往只有一個(gè)切割區(qū)總成，即一個(gè)切割區(qū)，一個(gè)切割區(qū)只能形成一個(gè)切割工位，這就造成一個(gè)切割周期只能對(duì)單個(gè)切割工位上的硬脆材料進(jìn)行切割，嚴(yán)重限制了切片機(jī)的切割能力和效率；通過增加切片機(jī)的數(shù)量來提高切割能力和效率，又會(huì)帶來占用更多廠房用地面積的難題，很多企業(yè)由于不能擴(kuò)大廠房面積而不能實(shí)現(xiàn)擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模；增加切片機(jī)的數(shù)量還意味著增加設(shè)備資金的投入，對(duì)于高價(jià)格的切片機(jī)來說，也是企業(yè)不容易實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)規(guī)模擴(kuò)大的因素；切片機(jī)的換熱功能的實(shí)現(xiàn)需要眾多管路進(jìn)行循環(huán)流動(dòng)，而現(xiàn)有設(shè)備管路較為分散，不利于管理；現(xiàn)有切片機(jī)都是一個(gè)切割工位對(duì)應(yīng)一套切割液的供液、換熱組件，一旦切割液的供液、換熱組件出現(xiàn)故障，將直接導(dǎo)致硅棒等硬脆材料受損，不但影響切割質(zhì)量，還損失高成本的硅棒原材料，同時(shí)停工停產(chǎn)也會(huì)使企業(yè)生產(chǎn)效率降低；現(xiàn)有切片機(jī)通常需要專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)幾周的現(xiàn)場(chǎng)安裝工作，不利于服務(wù)遠(yuǎn)距離客戶，且對(duì)安裝人員的技術(shù)水平要求較高，因而人員成本也較高。

因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于進(jìn)一步發(fā)展和改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的種種不足，為了解決上述問題，現(xiàn)提出一種多工位切片機(jī)。本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種多工位切片機(jī)，包括至少兩個(gè)用于切片的切割區(qū)總成、用于提供切割液的切割供液組件、用于給切割液降溫的切割液換熱組件以及用于給切片機(jī)設(shè)備降溫的冷卻液換熱組件，每個(gè)切割區(qū)總成對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)切割液換熱組件，多個(gè)切割區(qū)總成共用一個(gè)冷卻液換熱組件。

進(jìn)一步的，各切割區(qū)總成呈中心對(duì)稱或左右對(duì)稱排布。

進(jìn)一步的，多工位切片機(jī)為包括兩切割區(qū)總成的雙工位切片機(jī)，兩切割區(qū)總成左右對(duì)稱排布，切割供液組件、切割液換熱組件、冷卻液換熱組件和電氣總成位于兩切割區(qū)總成的中間位置。

進(jìn)一步的，所述電氣總成包括集中設(shè)置于一側(cè)的電控柜或者基于兩切割區(qū)總成分別設(shè)置于兩側(cè)的電控柜。

進(jìn)一步的，所述切割供液組件包括用于存放切割液的切割供液缸和用于泵送切割液到切割區(qū)總成的供液泵，供液泵將切割供液缸內(nèi)的切割液泵送到各切割區(qū)總成。

進(jìn)一步的，所述切割液換熱組件包括用于過濾泵送切割液的過濾桶以及用于給切割液降溫的切割液換熱器，切割液先經(jīng)過濾桶過濾后流入切割液換熱器內(nèi)降溫，再輸送到各切割區(qū)。

進(jìn)一步的，所述冷卻液換熱組件包括用于存放冷卻液的冷卻液水箱、用于泵送冷卻液的冷卻液泵和用于給冷卻液降溫的冷卻液換熱器，流經(jīng)切割區(qū)總成設(shè)備的冷卻液經(jīng)冷卻液換熱器冷卻后流回冷卻液水箱。

進(jìn)一步的，所述冷卻液泵和冷卻液換熱器均設(shè)置于冷卻液水箱上方。

進(jìn)一步的，各切割區(qū)總成通過同一連接結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)物理連接，切割供液組件、切割液換熱組件、冷卻液換熱組件通過連接結(jié)構(gòu)與各切割區(qū)總成連接為一整體。

進(jìn)一步的，各切割區(qū)總成可拆卸地連接于連接結(jié)構(gòu)上，連接結(jié)構(gòu)上設(shè)置有用于連接各切割區(qū)總成的連接位點(diǎn)，同時(shí)連接結(jié)構(gòu)上還設(shè)有連接更多切割區(qū)總成的預(yù)留連接位點(diǎn)。

進(jìn)一步的，所述連接結(jié)構(gòu)為連接橫梁或連接框架。