[發(fā)明專利]一種金屬基柔性框架石英差動諧振式壓力傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011453884.8
• 申請日: 2020-12-12
• 公開（公告）號: CN112611484B
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發(fā)明（設計）人: 李村;趙玉龍;葛曉慧;張全偉;李波;韓超
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01L1/10
• 分類號: G01L1/10;G01L11/00
• 代理公司: 西安智大知識產(chǎn)權代理事務所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種金屬基柔性框架石英差動諧振式壓力傳感器，其特征在于：包括一體式金屬壓力差動轉(zhuǎn)換元件(1)，一體式金屬壓力差動轉(zhuǎn)換元件(1)上連接有兩個石英雙端固支音叉(4)，一體式金屬壓力差動轉(zhuǎn)換元件(1)上側(cè)及兩個石英雙端固支音叉(4)外側(cè)連接有上蓋帽(2)，形成真空密封；一體式金屬壓力差動轉(zhuǎn)換元件(1)下側(cè)連接有下蓋板(3)，下蓋板(3)密封PCB安裝腔室(1d)，完成普通氣密；

所述的一體式金屬壓力差動轉(zhuǎn)換元件(1)為一體化制造，包括固定外框架(1b)，固定外框架(1b)上部內(nèi)側(cè)連接有柔性框架(1a)，柔性框架(1a)和兩個石英雙端固支音叉(4)連接，固定外框架(1b)下部設有待測壓力通道(1c)和PCB安裝腔室(1d)，待測壓力通道(1c)位于中心；通過玻璃燒結金柱(1e)完成PCB安裝腔室(1d)和柔性框架(1a)上安裝的兩個石英雙端固支音叉(4)之間的電氣連接；

兩個石英雙端固支音叉(4)垂直交叉平行地安裝于柔性框架(1a)的左右兩側(cè)，柔性框架(1a)一端與待測壓力通道(1c)一體固接，另一端與固定外框架(1b)一體固接；

兩個石英雙端固支音叉(4)垂直交叉平行地安裝于柔性框架(1a)的左右兩側(cè)，且柔性框架(1a)兩面都有對石英雙端固支音叉水平或豎直安裝的對準安裝槽。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種金屬基柔性框架石英差動諧振式壓力傳感器，其特征在于：所述的石英雙端固支音叉(4)中部的兩個叉臂(4e)表面四周設置有電極，電極之間相互電連接，用以石英雙端固支音叉起振，在逆壓電效應作用下，通交變電壓，石英音叉梁處于預設振動模態(tài)；在石英雙端固支音叉(4)一端上面(4a)有檢測電極，第一下面(4c)為安裝面；在石英雙端固支音叉(4)另一端上面(4b)有與外部電路連接的焊盤，第二下面(4d)是安裝面；通電之后能夠按照預定模態(tài)振動。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種金屬基柔性框架石英差動諧振式壓力傳感器，其特征在于：所述的下蓋板(3)且留有第一外接孔(3a)和第二外接孔(3b)，分別引出電源正負極線和兩個石英雙端固支音叉(4)的信號輸出線。