[發(fā)明專利]一種基板洗邊方法、洗邊裝置及基板

在審

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• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號: CN112505957A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧帆
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

1.一種基板洗邊方法，其特征在于，包括：

在基板的相應(yīng)膜層邊緣設(shè)置對應(yīng)標(biāo)識；

檢測洗邊機(jī)洗邊過程中的標(biāo)識位置；

根據(jù)所述標(biāo)識位置和標(biāo)識之間的距離，確定所述基板的洗邊量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板洗邊方法，其特征在于，所述在基板相應(yīng)的膜層邊緣設(shè)置對應(yīng)標(biāo)識，包括：

將第一標(biāo)識對應(yīng)貼設(shè)在所述基板的金屬膜層邊緣，所述第一標(biāo)識為條狀金屬；

將第二標(biāo)識設(shè)置在所述基板的非金屬層的端部，所述第二標(biāo)識為過孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板洗邊方法，其特征在于，所述根據(jù)所述標(biāo)識位置和標(biāo)識之間的距離，確定所述基板的洗邊量，包括：

基于所述標(biāo)識位置與所述第一標(biāo)識端部的距離，確定所述基板的金屬膜層的洗邊量。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板洗邊方法，其特征在于，所述根據(jù)所述標(biāo)識位置和標(biāo)識之間的距離，確定所述基板的洗邊量，包括：

基于所述標(biāo)識位置與所述第二標(biāo)識的距離，確定所述基板的非金屬膜層的洗邊量。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板洗邊方法，其特征在于，所述根據(jù)所述標(biāo)識位置和標(biāo)識之間的距離，確定所述基板的洗邊量之后，包括：

將所述洗邊量上傳到控制主機(jī)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板洗邊方法，其特征在于，所述檢測洗邊機(jī)洗邊過程中的標(biāo)識位置，包括：

確定洗邊機(jī)的旋轉(zhuǎn)刷頭位置，基于旋轉(zhuǎn)刷頭的位置確定標(biāo)識位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板洗邊方法，其特征在于，所述基于旋轉(zhuǎn)刷頭的位置確定標(biāo)識位置，包括：

基于所述旋轉(zhuǎn)刷頭的移動距離確定標(biāo)識位置。

8.一種基板洗邊裝置，其特征在于，包括：

標(biāo)識單元，用于在基板相應(yīng)的膜層邊緣設(shè)置對應(yīng)標(biāo)識；

檢測單元，用于檢測洗邊機(jī)洗邊過程中的標(biāo)識位置；

確定單元，用于根據(jù)所述標(biāo)識位置和標(biāo)識之間的距離，確定所述基板的洗邊量。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板洗邊裝置，其特征在于，還包括上傳單元，所述上傳單元將所述洗邊量上傳到控制主機(jī)。

10.一種基板，其特征在于，使用如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述基板洗邊方法制作的基板。