[發(fā)明專利]一種三狀態(tài)分子束外延用束源爐快門有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011453051.1 | 申請(qǐng)日： | 2020-12-11 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112746318B | 公開（公告）日： | 2022-02-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 杜鵬;龔欣;付宏偉;魏唯;陳峰武;王慧勇;肖慧;寧澍;陳長(zhǎng)平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 湖南爍科晶磊半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B23/02 | 分類號(hào)： | C30B23/02 |
| 代理公司： | 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 徐好 |
| 地址： | 410000 湖南省長(zhǎng)沙市高新開發(fā)區(qū)岳麓*** | 國(guó)省代碼： | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 狀態(tài) 分子 外延 用束源爐 快門 | ||
1.一種三狀態(tài)分子束外延用束源爐快門，其特征在于：具備三種狀態(tài)：束流開啟狀態(tài)、束流關(guān)斷狀態(tài)和束源爐保護(hù)狀態(tài)；快門處于束流開啟狀態(tài)時(shí)，快門葉片(23)完全避開束流蒸發(fā)路徑(4)；快門處于束流關(guān)斷狀態(tài)時(shí)，快門葉片(23)完全擋住束流蒸發(fā)路徑(4)；快門處于束源爐保護(hù)狀態(tài)時(shí)，快門葉片(23)位于束源爐(3)的爐口上方，阻擋冷屏(5)內(nèi)壁上吸附的材料碎片掉落入束源爐(3)中，其中束源爐(3)斜向上布置，三狀態(tài)分子束外延用束源爐快門，包括位于真空腔室(1)內(nèi)的快門葉片(23)、用于帶動(dòng)快門葉片(23)上下擺動(dòng)和線性伸縮的快門桿(22)、以及用于安裝快門桿(22)的快門法蘭(21)，所述快門桿(22)一端位于真空腔室(1)內(nèi)，快門桿(22)另一端位于真空腔室(1)外并連接有驅(qū)動(dòng)裝置，所述快門葉片(23)與所述快門桿(22)固定連接，所述快門葉片(23)與所述快門桿(22)之間的夾角為60°至150°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三狀態(tài)分子束外延用束源爐快門，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)裝置通過波紋管實(shí)現(xiàn)真空動(dòng)密封。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三狀態(tài)分子束外延用束源爐快門，其特征在于：所述快門葉片(23)采用耐高溫金屬材料或陶瓷材料制成，所述快門桿(22)采用耐高溫金屬材料或陶瓷材料制成。
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