[發(fā)明專利]升針?lè)椒ā雽?dǎo)體工藝設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011447713.4
• 申請(qǐng)日: 2020-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112802795A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙曉建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了升針?lè)椒?、半?dǎo)體工藝設(shè)備，該方法包括：控制頂針自初始位置以第一預(yù)設(shè)速度上升，完成升針總行程的第一段行程；控制頂針以第二預(yù)設(shè)速度繼續(xù)勻速上升，并實(shí)時(shí)判斷用于驅(qū)動(dòng)所述頂針的伺服電機(jī)的扭矩是否大于預(yù)設(shè)閾值；若伺服電機(jī)的扭矩始終未大于預(yù)設(shè)閾值，則持續(xù)控制頂針以第二預(yù)設(shè)速度勻速上升，完成升針總行程的第二段行程；控制頂針以第三預(yù)設(shè)速度繼續(xù)上升，完成升針總行程的第三段行程。本申請(qǐng)實(shí)施例提供的技術(shù)方案可以確保在升針過(guò)程中不會(huì)造成晶圓損壞或漂移。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種升針?lè)椒?、半?dǎo)體工藝設(shè)備。

背景技術(shù)

諸如刻蝕機(jī)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備對(duì)晶圓進(jìn)行工藝時(shí)，當(dāng)晶圓完成工藝后，需要對(duì)工藝腔室的靜電卡盤(pán)(ESC)中的、用于在與晶圓接觸之后推動(dòng)晶圓上升的頂針進(jìn)行升針，使得頂針從初始位置到達(dá)目標(biāo)位置。在升針過(guò)程中，頂針在與晶圓接觸之后推動(dòng)晶圓上升，在升針過(guò)程完成時(shí)，晶圓從晶圓的初始位置上升至晶圓的目標(biāo)位置，以使得機(jī)械手可以對(duì)處于晶圓的目標(biāo)位置的晶圓進(jìn)行取片操作。

目前的升針過(guò)程為開(kāi)環(huán)控制，且壓力較大，對(duì)晶圓沖擊較大，當(dāng)加工完成后的晶圓內(nèi)部殘余電荷較多時(shí)，在升針過(guò)程中易產(chǎn)生晶圓的漂移，并且會(huì)對(duì)晶圓造成劃痕，導(dǎo)致機(jī)臺(tái)不能正常運(yùn)行。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N升針?lè)椒?、半?dǎo)體工藝設(shè)備。

根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例的第一方面，提供一種升針?lè)椒?，?yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括：

控制頂針自初始位置以第一預(yù)設(shè)速度上升，完成升針總行程的第一段行程，其中，完成所述第一段行程后，所述頂針未伸出所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的靜電卡盤(pán)的表面；

控制所述頂針以第二預(yù)設(shè)速度繼續(xù)勻速上升，并實(shí)時(shí)判斷用于驅(qū)動(dòng)所述頂針的伺服電機(jī)的扭矩是否大于預(yù)設(shè)閾值，其中，所述第一預(yù)設(shè)速度大于所述第二預(yù)設(shè)速度；

若所述伺服電機(jī)的扭矩始終未大于所述預(yù)設(shè)閾值，則持續(xù)控制所述頂針以所述第二預(yù)設(shè)速度勻速上升，完成所述升針總行程的第二段行程，其中，在所述第二段行程中，所述頂針伸出所述靜電卡盤(pán)的表面；

控制所述頂針以第三預(yù)設(shè)速度繼續(xù)上升，完成所述升針總行程的第三段行程，其中，所述第三預(yù)設(shè)速度大于所述第二預(yù)設(shè)速度。

根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例的第二方面，提供一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括：

包括工藝腔室，所述工藝腔室中設(shè)置有靜電卡盤(pán)，所述靜電卡盤(pán)中設(shè)置有頂針，其特征在于，所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備還包括：

伺服電機(jī)、絲杠和絲杠滑塊，所述頂針與所述絲杠滑塊連接，所述絲杠滑塊設(shè)置在所述絲杠上，所述伺服電機(jī)用于同所述絲杠驅(qū)動(dòng)所述絲杠滑塊升降，以帶動(dòng)所述頂針升降；

控制器，被配置為控制所述伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)頂針自初始位置以第一預(yù)設(shè)速度上升，完成升針總行程的第一段行程，其中，完成第一段行程后，頂針未伸出半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的靜電卡盤(pán)的表面；控制伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)頂針以第二預(yù)設(shè)速度繼續(xù)勻速上升，并實(shí)時(shí)判斷用于驅(qū)動(dòng)頂針的伺服電機(jī)的扭矩是否大于預(yù)設(shè)閾值，其中，第一預(yù)設(shè)速度大于第二預(yù)設(shè)速度；若伺服電機(jī)的扭矩始終未大于預(yù)設(shè)閾值，則持續(xù)控制伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)頂針以所述第二預(yù)設(shè)速度勻速上升，完成所述升針總行程的第二段行程，其中，在所述第二段行程中，所述頂針伸出所述靜電卡盤(pán)的表面；控制所述伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述頂針以第三預(yù)設(shè)速度繼續(xù)上升，完成所述升針總行程的第三段行程，其中，所述第三預(yù)設(shè)速度大于所述第二預(yù)設(shè)速度。