[發明專利]一種半自動激光調阻機

在審

• 申請號: 202011443925.5
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN112489913A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 秦迪
• 申請（專利權）人: 深圳聚德壽科技有限公司
• 主分類號: H01C17/242
• 分類號: H01C17/242
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 王姝尹

本發明公開了一種半自動激光調阻機，包括：機箱本體，機箱本體上固定有防護罩，其側壁上開設有進口，內部設有定位板，定位板上開設有檢測口，檢測口兩側設有固定塊；電阻檢測組件，電阻檢測組件包括放置臺機構、電阻片、檢測爪引腳和電阻檢測表，放置臺機構與機箱本體滑動連接，電阻片放置于放置臺機構上，檢測爪引腳一端固定于固定塊上，另一端朝向檢測口方向伸出，電阻檢測表與檢測爪引腳信號連接；真空定位組件，與放置臺機構連通；激光調節組件，激光調節組件包括固定架和激光調節機構，固定架固定于機箱本體上，激光調節機構滑動連接在固定架上；控制組件，與放置臺機構、電阻檢測表和激光調節機構電性連接。

技術領域

本發明涉及精密調阻設備技術領域，更具體的說是涉及一種半自動激光調阻機。

背景技術

激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調、光掩膜的修正、具有分布參數的超高頻電路的微調、光學度盤和分劃板的刻制等工業領域將得到越來越廣泛的應用，激光調阻機是利用激光工藝對薄膜或厚膜電阻進行雕刻實現精密調節的關鍵設備，有很大的發展潛力。

激光電阻微調是通過短脈沖激光掃描切割，改變電阻的導電截面積，達到把低于目標阻值的電阻體修調到阻值允許的偏差范圍內。利用激光束按一定軌跡照射在電阻膜片上，基片電阻漿料層受激光照射加熱汽化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導體截面面積和導電體長度，從而達到微調電阻的目的。同時，對電阻進行動態測量，將測量結果與設定阻值進行比較，并反饋控制激光的掃射運動，達到預定的要求。然而，目前的激光調阻設備往往結構復雜，操作不便，調節精度低，調節過程不易于控制，使用性能不好。

因此，提供一種結構簡單，設計合理，操作方便，調節精度高，自動化程度高，適合批量調阻作業的半自動激光調阻機是本領域技術人員亟需解決的問題。

發明內容

有鑒于此，為了解決現有技術中激光調阻設備結構復雜、操作不便、調節精度低等技術問題，本發明提供了一種結構簡單，設計合理，操作方便，調節精度高，自動化程度高，適合批量調阻作業的半自動激光調阻機。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

一種半自動激光調阻機，包括：

機箱本體，所述機箱本體上固定有防護罩，所述防護罩一側開設有進口，所述防護罩內部固定有定位板，且所述定位板中部開設有檢測口，所述檢測口兩側設有固定塊，所述固定塊固定于所述定位板頂端面；

電阻檢測組件，所述電阻檢測組件包括放置臺機構、電阻片、檢測爪引腳和電阻檢測表，所述放置臺機構設于所述機箱本體上，并與所述機箱本體滑動連接，所述放置臺機構沿所述進口前后滑動，所述放置臺機構頂端面上開設有定位孔，所述電阻片放置于所述定位孔頂部，所述檢測爪引腳一端固定于所述固定塊上，另一端朝向所述檢測口方向伸出，所述電阻檢測表固定于所述機箱本體上，并位于所述防護罩一側，且所述電阻檢測表與所述檢測爪引腳信號連接；

真空定位組件，所述真空定位組件設于所述機箱本體外部，且所述真空定位組件與所述放置臺機構連通，用于向所述放置臺機構內抽真空處理將所述電阻片固定于所述定位孔處；

激光調節組件，所述激光調節組件包括固定架和激光調節機構，所述固定架固定于所述機箱本體上，并位于所述防護罩和所述電阻檢測表一側，所述激光調節機構滑動連接在所述固定架上，并位于所述防護罩上方；

控制組件，所述控制組件設于所述防護罩另一側，且所述控制組件與所述放置臺機構、所述電阻檢測表和所述激光調節機構電性連接，用于控制所述放置臺機構、所述電阻檢測表和所述激光調節機構。