[發(fā)明專(zhuān)利]一種多用途的掩膜式光面光刻機(jī)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011443221.8
• 申請(qǐng)日: 2020-12-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112558425A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉烽
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江西舜源電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了一種多用途的掩膜式光面光刻機(jī)，包括光刻臺(tái)和伺服移動(dòng)臺(tái)，所述光刻臺(tái)頂面安裝有伺服移動(dòng)臺(tái)，且伺服移動(dòng)臺(tái)頂面安裝有晶圓放置板。有益效果：本發(fā)明通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)第二手柄螺栓壓住菲林片來(lái)固定菲林片，避免菲林片過(guò)薄而引起放置不穩(wěn)定的情況，固定完成后，可向外轉(zhuǎn)動(dòng)第一手柄螺栓，帶動(dòng)第二滑塊向外移動(dòng)，從而帶動(dòng)捻鎖伸縮桿向外移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)外桿向外移動(dòng)，從而帶動(dòng)彈簧伸長(zhǎng)，拉扯內(nèi)桿，進(jìn)而拉扯菲林片四角，完成張拉，避免菲林片出現(xiàn)褶皺彎曲的現(xiàn)象，提高菲林片的平整性，從而提高透光的均勻性，提高使用菲林片時(shí)的光刻效率，固定框中也可放入玻璃的四角，完成對(duì)玻璃的固定，從而使本裝置適合使用菲林片和玻璃片，提高使用的多功能性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)，涉及一種多用途的掩膜式光面光刻機(jī)。

背景技術(shù)

光刻機(jī)又名:掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，常用的光刻機(jī)是掩膜對(duì)準(zhǔn)光刻，一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序，高端的投影式光刻機(jī)可分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種，分辨率通常七納米至幾微米之間，高端光刻機(jī)號(hào)稱(chēng)世界上最精密的儀器，世界上已有1.2億美金一臺(tái)的光刻機(jī)，高端光刻機(jī)堪稱(chēng)現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花，其制造難度之大，全世界只有少數(shù)幾家公司能夠制造。

掩膜式光刻機(jī)通常采用玻璃片作為掩膜版，掩膜版固定座也是針對(duì)玻璃片或者石英片來(lái)設(shè)計(jì)，當(dāng)需要使用到成本更低的菲林片時(shí)，由于菲林片較為輕薄，傳統(tǒng)的固定座無(wú)法穩(wěn)定安裝菲林片，容易引起菲林片起拱，不夠平整，影響光穿過(guò)效率，從而影響光刻效率，同時(shí)，菲林片耐熱變形能力遠(yuǎn)不如玻璃片，傳統(tǒng)的光刻機(jī)在進(jìn)行光刻時(shí)的熱量會(huì)停留在菲林片表面，從而引起菲林片受熱變形，也會(huì)限制菲林片的使用功能，還可以進(jìn)一步作出改進(jìn)，同時(shí)，傳統(tǒng)的固定座多為固定尺寸，不方便進(jìn)行大小和高度調(diào)節(jié)，也影響了使用的便利性，也還可以進(jìn)一步作出改進(jìn)。

針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問(wèn)題，目前尚未提出有效的解決方案。

發(fā)明內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問(wèn)題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種多用途的掩膜式光面光刻機(jī)，具備便于菲林片和玻璃片使用、提高使用的多功能性、便于調(diào)節(jié)、使用方便的優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)而解決上述背景技術(shù)中的問(wèn)題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述便于菲林片和玻璃片使用、提高使用的多功能性、便于調(diào)節(jié)、使用方便的優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明采用的具體技術(shù)方案如下：

一種多用途的掩膜式光面光刻機(jī)，包括光刻臺(tái)和伺服移動(dòng)臺(tái)，所述光刻臺(tái)頂面安裝有伺服移動(dòng)臺(tái)，且伺服移動(dòng)臺(tái)頂面安裝有晶圓放置板，所述伺服移動(dòng)臺(tái)外側(cè)對(duì)角線(xiàn)處固定安裝有軌道，且軌道內(nèi)部滑動(dòng)連接有第二滑塊，并且第二滑塊頂面豎向固定安裝有捻鎖伸縮桿，所述捻鎖伸縮桿的頂端固定套接有固定環(huán)，且固定環(huán)一側(cè)表面橫向固定連接有外桿，并且外桿內(nèi)部插接有內(nèi)桿，所述內(nèi)桿一端通過(guò)彈簧與外桿內(nèi)壁固定連接，且內(nèi)桿另一端固定安裝有固定框，并且固定框頂面中心位置貫穿螺紋連接有第二手柄螺栓，所述第二手柄螺栓底面通過(guò)旋轉(zhuǎn)連接座轉(zhuǎn)動(dòng)連接有壓板，且壓板底面粘接有硅膠墊，所述軌道內(nèi)部貫穿螺紋連接有第一手柄螺栓，且第一手柄螺栓一端與軌道一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并且第一手柄螺栓另一端貫穿軌道另一端，所述第一手柄螺栓貫穿第二滑塊并與第二滑塊螺紋連接。

進(jìn)一步的，所述軌道和第二滑塊的豎向截面均為凸字形，且軌道內(nèi)壁和第二滑塊外壁均開(kāi)設(shè)有滾珠槽，并且滾珠槽內(nèi)部滾動(dòng)連接有滾珠。

進(jìn)一步的，所述固定框底面固定安裝有風(fēng)箱，且風(fēng)箱底面通過(guò)接頭貫通連接有連接軟管，并且風(fēng)箱一側(cè)表面開(kāi)設(shè)有排風(fēng)口，所述軌道一側(cè)位于光刻臺(tái)頂面安裝有迷你鼓風(fēng)機(jī)，且迷你鼓風(fēng)機(jī)出風(fēng)端與連接軟管另一端貫通連接。

進(jìn)一步的，所述硅膠墊為圓形，且硅膠墊底面開(kāi)設(shè)有摩擦紋。

進(jìn)一步的，所述外桿內(nèi)壁與內(nèi)桿外壁過(guò)盈配合，且內(nèi)桿和外桿均為不易變形材質(zhì)制成。

進(jìn)一步的，所述排風(fēng)口出風(fēng)方向斜向上，且排風(fēng)口開(kāi)口高度不小于2mm。