[發(fā)明專利]一種用于電子氣體一氟甲烷中的雜質(zhì)組分分析系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011443087.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN112697904B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李朝清;王祥科;李建浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗析儀器（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G01N30/02
• 分類號(hào): G01N30/02;G01N30/20
• 代理公司: 上海海貝律師事務(wù)所 31301
• 代理人: 宋振宇

本發(fā)明公開了一種用于電子氣體一氟甲烷中的雜質(zhì)組分分析系統(tǒng)，包括第一切換閥、第二切換閥、第三切換閥、第四切換閥、第五切換閥，第一定量環(huán)、第二定量環(huán)、第一色譜柱、第二色譜柱、第三色譜柱、第四色譜柱、第五色譜柱、第一針型閥、第二針型閥、第三針型閥、第四針型閥、第一脈沖放電氦離子化檢測(cè)器和第二脈沖放電氦離子化檢測(cè)器。本發(fā)明，可以檢測(cè)一氟甲烷中的氫氣、氧氣、氬氣、氮?dú)狻⒓淄椤⒁谎趸肌⑺姆肌⒍趸肌⒁彝椤⒁蚁⑷淄椤⒈椤⒈┙M分，檢測(cè)限可達(dá)ppb級(jí)別。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及雜質(zhì)分析系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于電子氣體一氟甲烷中的雜質(zhì)組分分析系統(tǒng)。

背景技術(shù)

一氟甲烷（CH₃F）為無(wú)色易燃的氣體，易溶于醇、醚。高純一氟甲烷是一種綠色高效的電子特氣，常用于半導(dǎo)體及電子產(chǎn)品的刻蝕，對(duì)硅化物薄膜的刻蝕選擇性好。而一氟甲烷中的雜質(zhì)組分影響其實(shí)用效果，為此設(shè)計(jì)出一種電子氣體一氟甲烷中的氫氣、氧氣、氬氣、氮?dú)狻⒓淄椤⒁谎趸肌⑺姆肌⒍趸肌⒁彝椤⒁蚁⑷淄椤⒈椤⒈┙M分的分析方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于電子氣體一氟甲烷中的雜質(zhì)組分分析系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用于電子氣體一氟甲烷中的雜質(zhì)組分分析系統(tǒng)，包括第一切換閥、第二切換閥、第三切換閥、第四切換閥、第五切換閥，第一定量環(huán)、第二定量環(huán)、第一色譜柱、第二色譜柱、第三色譜柱、第四色譜柱、第五色譜柱、第一針型閥、第二針型閥、第三針型閥、第四針型閥、第一脈沖放電氦離子化檢測(cè)器和第二脈沖放電氦離子化檢測(cè)器，所述第一切換閥的一號(hào)接口通過氣路管道與樣品進(jìn)口連接，所述第一切換閥的二號(hào)接口通過氣路管道與第二切換閥的一號(hào)接口連接，所述第一切換閥的三號(hào)接口通過氣路管道與其十號(hào)接口連接，所述第一定量環(huán)設(shè)置在第一切換閥的三號(hào)接口與其十號(hào)接口連接的氣路管道上，所述第一切換閥的四號(hào)接口通過氣路管道與第一載氣連接，所述第一切換閥的五號(hào)接口通過氣路管道與其九號(hào)接口連接，所述第一色譜柱設(shè)置在第一切換閥的五號(hào)接口與其九號(hào)接口連接的氣路管道上，所述第一切換閥的六號(hào)接口通過氣路管道與第四切換閥的二號(hào)接口連接，所述第一切換閥的七號(hào)接口通過氣路管道與第二載氣連接，所述第一切換閥的八號(hào)接口通過氣路管道與第一針型閥連接，所述第二切換閥的二號(hào)接口通過氣路管道與樣品出口連接，所述第二切換閥的三號(hào)接口通過氣路管道與其六號(hào)接口連接，所述第二定量環(huán)設(shè)置在第二切換閥的三號(hào)接口與其六號(hào)接口連接的氣路管道上，所述第二切換閥的四號(hào)接口通過氣路管道與第二色譜柱的進(jìn)氣口連接，所述第二切換閥的五號(hào)接口通過氣路管道與第三載氣連接，所述第三切換閥的一號(hào)接口通過第一短接氣路管道與其六號(hào)接口連接，所述第三切換閥的二號(hào)接口通過氣路管道與第二針型閥連接，所述第三切換閥的三號(hào)接口通過氣路管道與第四載氣連接，所述第三切換閥的四號(hào)接口通過氣路管道與第三色譜柱的進(jìn)氣口連接，所述第三色譜柱的出氣口通過氣路管道與第一脈沖放電氦離子化檢測(cè)器連接，所述第三切換閥的五號(hào)接口通過氣路管道與第二色譜柱的出氣口連接，所述第四切換閥的一號(hào)接口通過氣路管道與第四色譜柱的進(jìn)氣口連接，所述第四切換閥的二號(hào)接口通過氣路管道與第一切換閥的六號(hào)接口連接，所述第四切換閥的三號(hào)接口通過氣路管道與第五色譜柱的進(jìn)氣口連接，所述第四切換閥的四號(hào)接口通過氣路管道與第六載氣連接，所述第四切換閥的五號(hào)接口通過氣路管道與第三針型閥連接，第四切換閥的六號(hào)接口通過氣路管道與第五載氣連接，所述第五切換閥的一號(hào)接口通過第二短接氣路管道與其六號(hào)接口連接，所述第五切換閥的二號(hào)接口通過氣路管道與第四針型閥連接，所述第五切換閥的三號(hào)接口通過氣路管道與第四色譜柱的出氣口連接，所述第五切換閥的四號(hào)接口通過氣路管道與第二脈沖放電氦離子化檢測(cè)器連接，所述第五切換閥的五號(hào)接口通過氣路管道與第五色譜柱的出氣口連接。

優(yōu)選的，所述第一切換閥采用十通閥，所述第二切換閥、第三切換閥、第四切換閥、第五切換閥采用六通閥。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：