[發(fā)明專利]晶圓清洗裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011442573.1
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN112420565A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 米艷嬌;郭炳熙;周鐵軍
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東先導(dǎo)先進材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11387
• 代理人: 張向琨

1.一種晶圓清洗裝置(100)，包括清洗部(1)、傳動部(2)和隔板(3)，其特征在于，清洗部(1)包括清洗盤(11)和清洗腔室(12)，傳動部(2)包括固定板(21)、移動板(22)、齒輪機構(gòu)(23)及升降軸(24)；

隔板(3)固定于固定板(21)上，清洗部(1)設(shè)置于隔板(3)上；

移動板(22)滑動連接于固定板(21)，用以沿固定板(21)上下移動；

齒輪機構(gòu)(23)連接于移動板(22)，并隨移動板(22)上下移動；

升降軸(24)穿過隔板(3)和清洗腔室(12)，升降軸(24)的下端連接于齒輪機構(gòu)(23)，上端連接于清洗盤(11)，用于帶動清洗盤(11)進行上下移動及旋轉(zhuǎn)運動；

固定板(21)上設(shè)置有氣動閥(211)，用于控制移動板(22)的上下移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗裝置(100)，其特征在于，齒輪機構(gòu)(23)包括第一齒輪(231)、第二齒輪(232)和夾持板(233)，第一齒輪(231)和第二齒輪(232)固定在上下兩塊夾持板(233)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓清洗裝置(100)，其特征在于，夾持板(233)連接于移動板(22)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓清洗裝置(100)，其特征在于，齒輪機構(gòu)(23)還包括：

電機(234)，與第一齒輪(231)或第二齒輪(232)相連，用于驅(qū)動第一齒輪(231)或第二齒輪(232)的轉(zhuǎn)動；

皮帶(235)，連接于第一齒輪(231)和第二齒輪(232)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗裝置(100)，其特征在于，清洗部(1)還包括噴淋裝置(13)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗裝置(100)，其特征在于，清洗盤(11)的沿上下方向的投影尺寸小于清洗腔室(12)的沿上下方向的投影尺寸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗裝置(100)，其特征在于，在上下方向上，固定板(21)設(shè)置有兩個氣動閥(211)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗裝置(100)，其特征在于，清洗盤(11)上端設(shè)置用于固定晶圓的凸臺(111)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗裝置(100)，其特征在于，清洗腔室(12)的內(nèi)壁上設(shè)置有排風(fēng)口(121)。

10.一種晶圓清洗方法，其特征在于，使用權(quán)利要求1-9中任一項所述的晶圓清洗裝置(100)，該方法包括如下步驟：

a.機械臂將待清洗的晶圓放在清洗盤(11)上；

b.氣動閥(211)控制移動板(22)向下移動，清洗盤(11)在升降軸(24)的帶動下進入清洗腔室(12)；

c.清洗盤(11)在轉(zhuǎn)動齒輪的作用下完成清洗及甩干工作；

d.清洗完成后，氣動閥(211)控制移動板(22)向上移動，清洗盤(11)在升降軸(24)的帶動下升高并離開清洗腔室(12)；

e.機械臂將清洗完成的晶圓取走。