[發明專利]一種金剛線切割多晶硅片的制絨方法、制絨硅片及太陽能電池片

在審

• 申請號: 202011436401.3
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN114628539A
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 滕美玲;陸先林;王楠;金婷婷;劉鑫
• 申請（專利權）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號: H01L31/0236
• 分類號: H01L31/0236;H01L31/18
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 熊永強

1.一種金剛線切割多晶硅片的制絨方法，其特征在于，包括以下步驟：

對金剛線切割多晶硅片進行堿拋處理，之后在其表面形成二氧化硅膜層；

將帶所述二氧化硅膜層的金剛線切割多晶硅片進行酸制絨，得到制絨硅片。

2.如權利要求1所述的制絨方法，其特征在于，所述二氧化硅膜層的厚度為2-50nm。

3.如權利要求2所述的制絨方法，其特征在于，所述二氧化硅膜層的厚度為10-40nm。

4.如權利要求1所述的制絨方法，其特征在于，所述二氧化硅膜層的形成方式包括以下中的一種：

在600-850℃下，于含氧氣的干燥氣氛下進行干氧熱氧化；或者

在600-850℃下，于含氧氣和水蒸氣的濕氧氣氛下進行濕氧熱氧化；或者

在臭氧氣氛下或在臭氧水中進行臭氧氧化。

5.如權利要求1所述的制絨方法，其特征在于，所述堿拋處理使用的是濃度為7wt％-11wt％的強堿溶液，所述堿拋處理的溫度為65-85℃，處理時間為150s-240s。

6.如權利要求1所述的制絨方法，其特征在于，在所述堿拋處理之后，還包括酸清洗處理，所述酸清洗處理采用稀HF溶液，或者HF和鹽酸的混合溶液。

7.如權利要求1所述的制絨方法，其特征在于，所述酸制絨采用的制絨液為包括硝酸、氫氟酸的混合水溶液。

8.一種制絨硅片，其特征在于，所述制絨硅片是根據權利要求1-7任一項所述的制絨方法制備得到。

9.一種太陽能電池片，其特征在于，通過權利要求1-7任一項所述的制絨硅片制備得到。

10.如權利要求1所述的太陽能電池片，其特征在于，對所述制絨硅片依次進行擴散、去邊、去背面PN結及正面去磷硅玻璃、沉積減反射膜、印刷電極、高溫燒結得到。