[發(fā)明專利]磨削室的清洗方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011432640.1
• 申請日: 2020-12-10
• 公開（公告）號: CN113001283A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山中聰
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B7/04
• 分類號: B24B7/04;B24B7/22;B24B27/00;B24B41/047;B24B47/20;B24B55/06
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

本發(fā)明提供磨削室的清洗方法，與具有形成有沿大致橫向貫通的貫通孔的磨輪基臺的磨削磨輪相比，能夠減少磨削水的使用量。磨削室的清洗方法具有如下步驟：飛散步驟，從磨削水提供源通過磨輪基臺的內(nèi)部對磨削單元的磨具部提供磨削水，并且使主軸旋轉(zhuǎn)，從而使提供到磨具部的磨削水因離心力而向收納有磨削磨輪的磨削室的內(nèi)壁飛散，其中，該磨削單元具有該磨削磨輪和供該磨削磨輪安裝的該主軸，該磨削磨輪具有圓環(huán)狀的該磨輪基臺和呈環(huán)狀配置于該磨輪基臺的一個面?zhèn)鹊脑撃ゾ卟?；以及著水高度變更步驟，利用使磨削單元沿上下方向移動的移動單元使磨削磨輪在磨削室內(nèi)向上方和下方中的至少某方向移動，從而變更磨削水附著于磨削室的內(nèi)壁的高度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在磨削裝置中對收納有磨削磨輪的磨削室進(jìn)行清洗的磨削室的清洗方法。

背景技術(shù)

對半導(dǎo)體晶片等被加工物進(jìn)行磨削的磨削裝置具有用于對被加工物進(jìn)行磨削的磨削單元。磨削單元具有與鉛垂方向大致平行地配置的主軸和固定于主軸的下端的磨輪安裝座，在磨輪安裝座的下表面安裝有圓環(huán)狀的磨削磨輪。

磨削磨輪具有圓環(huán)狀的磨輪基臺和在磨輪基臺的底面?zhèn)妊刂ポ喕_的周向離散地安裝的多個磨削磨具。磨削裝置與貯存有純水等磨削水的磨削水提供源連接。

另外，在主軸、磨輪安裝座以及磨削磨輪中形成有用于使磨削水通過的流路。在對被加工物進(jìn)行磨削的情況下，從磨削水提供源經(jīng)過形成于磨削磨輪的流路的開口對被加工物提供磨削水。

磨削裝置還具有：保持工作臺，其對被加工物進(jìn)行吸引并保持；以及磨削室，其收納保持工作臺和磨削磨輪。磨削室的空間由板狀的罩部件規(guī)定。在罩部件的頂板上形成有用于供主軸貫穿的開口，磨削磨輪的上方和側(cè)方被罩部件的頂板和側(cè)板覆蓋。

在利用磨削裝置對被加工物進(jìn)行磨削時，首先，利用保持工作臺對被加工物的一個面?zhèn)冗M(jìn)行保持。然后，在使保持工作臺和磨削磨輪向相同的方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，一邊向磨削磨輪提供磨削水，一邊將磨削單元沿著鉛垂方向向下方進(jìn)行加工進(jìn)給。

伴隨著被加工物的磨削，含有磨削屑(加工屑)的磨削水向周圍飛散。飛散的結(jié)果為，含有磨削屑的磨削水有時會附著于罩部件的內(nèi)壁或者成為霧狀而漂浮在磨削室中。

例如，含有磨削屑的磨削水附著于磨削室的內(nèi)壁。當(dāng)磨削室的內(nèi)壁被含有磨削屑的水滴污染時，該污染有可能對被加工物的磨削造成影響，因此需要定期對磨削室的內(nèi)壁進(jìn)行清掃。

為了減少清掃磨削室時的工時，公知有能夠在磨削時進(jìn)行磨削室的清洗的特殊的磨輪基臺(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在該磨輪基臺上沿著磨輪基臺的周向離散地形成有分別沿大致橫向從內(nèi)側(cè)面貫通至外側(cè)面的多個貫通孔。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2015-199146號公報

如果使用該帶貫通孔的磨輪基臺，則在磨削被加工物時使純水等磨削水從貫通孔向外側(cè)飛散，從而能夠?qū)δハ魇业膬?nèi)壁進(jìn)行清洗。但是，帶貫通孔的磨輪基臺需要進(jìn)行在通常的磨輪基臺上形成多個貫通孔的特殊的加工，制造花費工夫。

此外，在使用帶貫通孔的磨輪基臺的情況下，提供給磨削磨輪的磨削水被分為清洗用的第1磨削水和加工用的第2磨削水。第1磨削水不經(jīng)由磨削磨具而是從貫通孔直接向外側(cè)飛散，第2磨削水被提供到被加工物與磨削磨具的接觸區(qū)域(即，加工區(qū)域)。

因此，在磨削被加工物時，除了加工用的第2磨削水以外，還始終需要清洗用的第1磨削水，與使用通常的磨輪基臺的情況相比，存在磨削時的磨削水的使用量增加的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種磨削室的清洗方法，與具有形成有沿大致橫向從內(nèi)側(cè)面貫通至外側(cè)面的貫通孔的磨輪基臺的磨削磨輪相比，能夠減少磨削水的使用量。