[發(fā)明專(zhuān)利]平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011430782.4
• 申請(qǐng)日: 2020-12-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114597109A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊亮;石文波;李慶偉;耿自才;李永釗;吳克難;趙天亮;周冬建;回曉康;金玉奇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/32
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/32;H05H1/02;H05H1/24;B01D53/02
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：包括依次連接的供氣系統(tǒng)(29)、擴(kuò)壓器(7)和真空腔體(1)，其中真空腔體(1)中設(shè)有壁面帶孔空心圓筒(19)，且所述壁面帶孔空心圓筒(19)上端密封、下端開(kāi)口且外壁與真空腔體(1)底端密封連接，所述壁面帶孔空心圓筒(19)中設(shè)有電加熱元件(5)，且所述電加熱元件(5)下端由壁面帶孔空心圓筒(19)下端開(kāi)口伸出至真空腔體(1)外與外電源連接，真空腔體(1)內(nèi)設(shè)有呈平面環(huán)狀的射頻耦合線(xiàn)圈(24)，且所述射頻耦合線(xiàn)圈(24)位于所述壁面帶孔空心圓筒(19)上方，在真空腔體(1)外側(cè)設(shè)有射頻供電系統(tǒng)(26)，且所述射頻耦合線(xiàn)圈(24)通過(guò)線(xiàn)路與所述射頻供電系統(tǒng)(26)相連，在真空腔體(1)底端一側(cè)設(shè)有抽真空系統(tǒng)(28)、另一側(cè)設(shè)有氣壓采集系統(tǒng)(27)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：所述真空腔體(1)底端設(shè)有疊置在一起的底端密封法蘭上蓋(2)和底端密封法蘭下蓋(3)，且所述壁面帶孔空心圓筒(19)下端穿過(guò)所述底端密封法蘭上蓋(2)后與所述底端密封法蘭下蓋(3)固連，所述底端密封法蘭下蓋(3)接地，且所述底端密封法蘭下蓋(3)上設(shè)有供電加熱元件(5)插入對(duì)應(yīng)壁面帶孔空心圓筒(19)的直通接口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：所述壁面帶孔空心圓筒(19)上端設(shè)有可拆卸的螺紋封蓋(20)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：所述真空腔體(1)頂端設(shè)有頂端密封法蘭(4)，所述擴(kuò)壓器(7)下端設(shè)有擴(kuò)壓器下法蘭(6)與所述頂端密封法蘭(4)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：所述擴(kuò)壓器(7)為上端細(xì)、下端粗的空心金屬圓筒。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：所述供氣系統(tǒng)(29)包括供氣氣源(12)、質(zhì)量流量計(jì)(11)和擴(kuò)壓器連接器(10)，所述供氣氣源(12)與擴(kuò)壓器連接器(10)通過(guò)送氣管路連接，且所述送氣管路上設(shè)有所述質(zhì)量流量計(jì)(11)，所述擴(kuò)壓器連接器(10)下端設(shè)有連接器法蘭(9)，所述擴(kuò)壓器(7)上端設(shè)有擴(kuò)壓器上法蘭(8)，且所述連接器法蘭(9)與所述擴(kuò)壓器上法蘭(8)固連。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：所述擴(kuò)壓器連接器(10)為上端細(xì)、下端粗的空心金屬圓筒。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：所述抽真空系統(tǒng)(28)包括真空泵(14)和控制閥(13)，所述真空泵(14)通過(guò)連接管路與所述真空腔體(1)上對(duì)應(yīng)的接口相連，且所述連接管路上設(shè)有所述控制閥(13)；所述氣壓采集系統(tǒng)(27)包括依次串聯(lián)的真空計(jì)(15)、真空計(jì)顯示器(16)、數(shù)字信息采集卡(17)和電腦(18)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：所述射頻耦合線(xiàn)圈(24)為平面環(huán)狀金屬線(xiàn)圈，且所述金屬線(xiàn)圈沿著環(huán)形周向方向呈螺旋管結(jié)構(gòu)，所述真空腔體(1)側(cè)壁上設(shè)有絕緣密封座(30)，且所述射頻耦合線(xiàn)圈(24)下端固裝于所述絕緣密封座(30)上，所述射頻供電系統(tǒng)(26)包括依次串聯(lián)的射頻電源(21)和匹配器(22)，且所述匹配器(22)分別通過(guò)不同的同軸傳輸線(xiàn)(23)與所述射頻耦合線(xiàn)圈(24)下側(cè)兩端連接，兩個(gè)同軸傳輸線(xiàn)(23)均穿過(guò)所述絕緣密封座(30)，并且其中一個(gè)同軸傳輸線(xiàn)(23)與地線(xiàn)(25)連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：抽真空系統(tǒng)(28)先抽取真空腔體(1)內(nèi)的氣體，然后壁面帶孔空心圓筒(19)內(nèi)的吸氣劑通過(guò)電加熱元件(5)加熱激活，然后射頻供電系統(tǒng)(26)啟動(dòng)使輸出功率通過(guò)射頻耦合線(xiàn)圈(24)作用于真空腔體(1)內(nèi)，并使真空腔體(1)內(nèi)產(chǎn)生等離子體。