[發明專利]一種柔性傳感器件及其制造方法以及監測裝置

在審

• 申請號: 202011428861.1
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN112461409A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 李穎;李璐;閆興武;程江;胡榮;唐華
• 申請（專利權）人: 重慶文理學院
• 主分類號: G01L1/00
• 分類號: G01L1/00;G01B7/16
• 代理公司: 安徽濰達知識產權代理事務所(普通合伙) 34166
• 代理人: 張蘭

1.一種柔性傳感器件，其特征在于，所述柔性傳感器件包括第一薄膜層、第一金屬層、導電聚合物層、第二金屬層以及第二薄膜層，所述第一薄膜層、所述導電聚合物層及所述第二薄膜層由柔性材料制成，其中，所述柔性傳感器件在受到持續的外力作用時，持續輸出直流電壓信號。

2.根據權利要求1所述的柔性傳感器件，其特征在于，所述第一金屬層包括金層，所述第二金屬層包括鋁層；所述導電聚合物層的柔性材料為聚吡咯。

3.根據權利要求2所述的柔性傳感器件，其特征在于，所述第一金屬層包括鉻層及金層，所述第二金屬層包括鋁層。

4.一種柔性監測裝置，其特征在于，所述裝置包括：根據權利要求1-3中任意一項所述的柔性傳感器件；處理部件，與所述柔性傳感器件連接，用于接收所述柔性傳感器件的直流電壓信號，并根據所述直流電壓信號確定壓力監測信息。

5.一種可穿戴設備，其特征在于，所述設備包括根據權利要求4所述的柔性監測裝置，所述設備可穿戴于被監測對象的監測位置。

6.一種柔性傳感器件的制造方法，其特征在于，所述方法包括：將第一薄膜層以預設比例拉伸，以使所述第一薄膜層處于拉伸狀態；在所述第一薄膜層上依次生成第一金屬層及導電聚合物層；將第二薄膜層以所述預設比例拉伸，以使所述第二薄膜層處于拉伸狀態；在所述第二薄膜層上生成第二金屬層；將所述第二金屬層與所述導電聚合物層貼合；釋放對所述第一薄膜層、所述第二薄膜層的拉伸，得到所述柔性傳感器件，所述第一薄膜層、所述導電聚合物層及所述第二薄膜層由柔性材料制成，其中，所述柔性傳感器件在受到持續的外力作用時，持續輸出直流電壓信號。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一金屬層包括金層，所述第二金屬層包括鋁層；所述導電聚合物層的柔性材料為聚吡咯。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一金屬層包括鉻層及金層，所述第二金屬層包括鋁層。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述鉻層的厚度為5nm～10nm，所述金層的厚度為50nm～300nm，所述鋁層的厚度為50nm～300nm。