[發明專利]多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置

有效

• 申請號: 202011428090.6
• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN112782198B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 李慧;張孟超;劉文慶;梁雪;彭劍超;寇春合
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01N23/2251;G01N23/2204;G01N23/20025;H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 顧勇華

1.一種多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置，其特征在于，包括針尖樣品支撐臺、普通樣品臺匹配臺和樣品轉接部分，所述針尖樣品支撐臺安裝在普通樣品臺匹配臺上，樣品轉接部分對普通樣品臺匹配臺進行固定；

所述針尖樣品支撐臺呈錐尖形狀，將針尖樣品焊接于針尖樣品支撐臺的錐尖頂端；

所述普通樣品臺匹配臺呈球臺形狀，所述普通樣品臺匹配臺與至少兩個針尖樣品支撐臺焊接為一體，作為直接放置于TEM、SEM、EBSD或TKD設備的普通樣品臺；

所述樣品轉接部分的下部呈圓柱體形狀，能夠放置于三維原子探針裝置的普通樣品臺上，所述樣品轉接部分的上部能夾持固定所述普通樣品臺匹配臺，形成多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置；

普通樣品臺匹配臺的球臺形狀的厚度為0.1～0.2mm，直徑不大于3mm，在球臺形狀的一側設置至少5個支撐架，將針尖樣品支撐臺和FIB切割的透射樣品分別焊接在對應的支撐架上，形成普通樣品臺。

2.根據權利要求1所述多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置，其特征在于：裝載三維原子探針納米針尖試樣，并同時裝載SEM、TEM、FIB、TKD的樣品中的至少一種，形成多設備聯用的通用接口裝置。

3.根據權利要求1所述多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置，其特征在于：將FIB切割的三維原子探針針尖樣品焊接于針尖樣品支撐臺的錐尖頂端。

4.根據權利要求1所述多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置，其特征在于：針尖樣品支撐臺由圓錐形部分和柱形部分一體形成，圓錐形部分的底部與柱形部分的端部連接，柱形部分的厚度為0.1～0.2mm，柱形部分的斷面尺寸為0.2～0.3mm，圓錐形部分的高度為0.3～0.4mm，圓錐形部分的頂端被截去錐尖部，截面尺寸不大于10μm，被截去的錐尖部的高度不小于10μm。

5.根據權利要求1所述多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置，其特征在于：樣品轉接部分的下端為圓柱體組件(3)，直徑不低于2mm，高度為7～10mm，圓柱體組件(3)的下端能放置于三維原子探針樣品臺上；樣品轉接部分的上端為長方體部件，長方體部件與圓柱體組件(3)固定連接，長方體部件的總體長為13～15mm，寬為4～6mm，厚為4～6mm；

長方體部件由兩部分組成，一部分為夾持部分(1)，另一部分為固定部分(2)；夾持部分(1)長為4～6mm，寬為4～6mm，厚為4～6mm，開有凹槽連接部；固定部分(2)的長8～10mm，寬為4～6mm，厚為4～6mm，其中一端為與凹槽連接部相匹配的凸臺連接部，用于與凹槽連接部銜接配合，固定組裝形成長方體部件組裝結構，將普通樣品臺匹配臺夾持固定在夾持部分(1)和固定部分(2)之間的普通樣品匹配臺放置處(5)；長方體部分的中心為直徑2±0.2mm的螺孔，以螺釘(4)進行裝配，形成整體固定連接結構。

6.根據權利要求5所述多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置，其特征在于：所述樣品轉接部分的圓柱體組件(3)和長方體部件連接形成“T”形結構，圓柱體組件(3)的端部與長方體部件的固定部分(2)連接。

7.根據權利要求5所述多設備聯用的三維原子探針樣品通用接口裝置，其特征在于：夾持部分(1)開有橫斷面為半圓形的凹槽連接部；固定部分(2)的一端為與凹槽連接部相匹配的橫斷面為半圓形的凸臺連接部。