[發明專利]一種精準定位受力、靈敏度可調的柔性觸覺傳感器有效
| 申請號： | 202011421329.7 | 申請日： | 2020-12-08 |
| 公開（公告）號： | CN112577642B | 公開（公告）日： | 2023-03-10 |
| 發明（設計）人： | 董林璽;吳宣邑;楊偉煌;劉超然 | 申請（專利權）人： | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 浙江千克知識產權代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 精準 定位 靈敏度 可調 柔性 觸覺 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種精準定位受力、靈敏度可調的電容式柔性觸覺傳感器，包含多個傳感單元，每個傳感單元采用上中下三層結構，其特征在于：
上層結構包括作為襯底的PDMS薄膜和作為電極的二維石墨烯；
中層結構為作為絕緣體的PDMS微結構介電層；
下層的結構、材料與上層相同，空間上是由上層結構翻轉后水平面旋轉90°，與上層結構共同形成互相垂直的兩條電極，兩條電極的中心圓形區域為電容單元；
上層結構中的石墨烯電極與下層結構中的石墨烯電極組成電容的上下極板，電極以外部分由介電層的凸臺作為支撐，在極板之間形成空氣介質；
所述的介電層的凸臺呈放射狀排列，通過改變凸臺的尺寸大小、排列密度、排列夾角來改變器件受力形變的情況，進而調整靈敏度的變化，使得傳感器適用于更多的場合；
所述的介電層的凸臺支撐使得電容單元受力后更容易產生形變，同時也實現對電容單元外受力的卸載，從而實現精準受力定位。
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