[發(fā)明專利]一種拋光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011419911.X
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN112405330B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊淵思;徐梟宇;周智鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州眾硅電子科技有限公司
• 主分類號: B24B37/07
• 分類號: B24B37/07;B24B37/34
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 丁曼曼

1.一種拋光裝置，其特征在于，包括基座（101），所述基座（101）設(shè)有兩個拋光頭座（104），所述拋光頭座（104）設(shè)有用以固定晶圓的拋光頭（200）和用以帶動所述拋光頭（200）直線移動的直線驅(qū)動機構(gòu)，還包括底板（300），所述底板（300）設(shè)有曲線滑軌（102），所述基座（101）設(shè)有與所述曲線滑軌（102）相連的滑塊（103）；

所述基座（101）設(shè)有用以限制所述拋光頭座（104）移動路徑的直線滑軌（105），所述直線驅(qū)動機構(gòu)帶動所述拋光頭座（104）沿所述直線滑軌（105）直線移動，兩所述拋光頭座（104）的移動方向相反，每個所述拋光頭座（104）均設(shè)有一個所述拋光頭（200），兩所述拋光頭座（104）的移動軌跡對稱分布，對稱軸為兩所述拋光頭（200）中點所形成的線段的中垂線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光裝置，其特征在于，所述直線驅(qū)動機構(gòu)包括所述拋光頭（200）相連的絲杠（204）和用以帶動所述絲杠（204）轉(zhuǎn)動的驅(qū)動部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光裝置，其特征在于，單個所述拋光頭座（104）對應(yīng)的所述直線滑軌（105）為兩條，且對應(yīng)同一拋光頭座（104）的兩條所述直線滑軌（105）平行設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光裝置，其特征在于，所述基座（101）與所述底板（300）間還設(shè)有用以帶動所述基座（101）在曲線滑軌（102）上移動的曲線驅(qū)動機構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的拋光裝置，其特征在于，還包括位于所述基座（101）下方的拋光臺（201），所述拋光臺（201）上設(shè)有用以向所述拋光頭（200）和所述拋光臺（201）之間輸出拋光液的供液臂（303），所述供液臂（303）的布局位置關(guān)于所述拋光臺（201）中點中心對稱。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的拋光裝置，其特征在于，所述曲線驅(qū)動機構(gòu)包括設(shè)置在所述底板（300）上并與所述曲線滑軌（102）同心的曲線磁軌（202），以及設(shè)置在所述基座（101）中并與所述曲線磁軌（202）相配合的曲線直驅(qū)電機（203）。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光裝置，其特征在于，所述曲線滑軌（102）呈圓弧形或環(huán)狀，所述曲線滑軌（102）的下方設(shè)有至少一個所述拋光臺（201）和用以承載成品晶圓的載片臺（304），所述拋光臺（201）和所述載片臺（304）均位于所述曲線滑軌（102）在水平面的投影覆蓋的范圍內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光裝置，其特征在于，所述曲線滑軌（102）呈圓弧形或環(huán)狀，所述曲線滑軌（102）下方設(shè)有至少兩個所述拋光臺（201）和用以承載成品晶圓的載片臺（304），全部所述拋光臺（201）均位于所述曲線滑軌（102）在水平面的投影覆蓋的范圍內(nèi)，載片臺（304）位于所述曲線滑軌（102）在水平面的投影覆蓋的范圍外。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光裝置，其特征在于，所述曲線滑軌（102）連接有至少2個所述基座（101）。