[發(fā)明專利]一種用于立式雙面鍍膜的基板夾具

在審

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• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN112458423A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊星;李長江;周文彬
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州晟成光伏設(shè)備有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種用于立式雙面鍍膜的基板夾具，其特征在于：該種用于立式雙面鍍膜的基板夾具包括下托盤、上托盤、基片、夾緊裝置和主體支架，所述夾緊裝置的鎖在主體支架上，下托盤和上托盤之間裝夾有基片，下托盤和上托盤通過夾緊裝置夾緊貼合，所述下托盤和上托盤上設(shè)有便于鍍膜的鏤空片位，鏤空片位的邊緣處向外延伸設(shè)置有邊緣擋塊，鏤空片位的四角處設(shè)置有四角擋塊，上托盤四周框架邊緣設(shè)置有梯形凸臺，下托盤上設(shè)置有與梯形凸臺配合的梯形凹槽，基片被邊緣擋塊和四角擋塊限制在中間狹小的空間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式雙面鍍膜的基板夾具，其特征在于：所述夾緊裝置包括鎖緊螺柱、彈簧和擋板，所述鎖緊螺柱鎖附在主體支架上，鎖緊螺柱上從上到下依次套有彈簧和擋板，所述擋板延伸部位于下托盤和上托盤上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式雙面鍍膜的基板夾具，其特征在于：所述邊緣擋塊設(shè)計為矩形、半圓、三角形或組合，鏤空片位邊緣垂直尺寸為0.1mm～10mm，鏤空片位邊緣平行尺寸為0.1mm～10mm，所述邊緣擋塊數(shù)量不限。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式雙面鍍膜的基板夾具，其特征在于：所述四角擋塊設(shè)計為直倒角、圓倒角或鏤空片位的四角處不設(shè)擋塊，倒角尺寸為0.1mm～10mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式雙面鍍膜的基板夾具，其特征在于：所述梯形凸臺與梯形凹槽相對應(yīng)，梯形凸臺可完全置于梯形凹槽中并貼合，貼合后梯形面間隙小于0.01mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式雙面鍍膜的基板夾具，其特征在于：所述鏤空片位設(shè)計為單個片位或設(shè)計為多個片位。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式雙面鍍膜的基板夾具，其特征在于：所述主體支架上設(shè)有與上托盤上鏤空片位相對的鏤空。