[發(fā)明專利]半導體激光器低溫老化測試裝置及低溫老化測試方法

有效

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• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112345873B
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設計）人: 靳嫣然;周立;王俊;林朋遠;錢承;吳天寶;梁志敏
• 申請（專利權）人: 蘇州長光華芯光電技術股份有限公司;蘇州長光華芯半導體激光創(chuàng)新研究院有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 項凱

本發(fā)明提供了一種半導體激光器低溫老化測試裝置及低溫老化測試方法，半導體激光器低溫老化測試裝置包括：腔體；位于所述腔體的外部且與腔體連通的第一進氣管；位于所述腔體中的底部區(qū)域且與所述第一進氣管連通的導流管，所述導流管的管壁設置若干氣孔；位于所述腔體內部的通液夾具，所述通液夾具用于固定半導體激光器，所述通液夾具位于部分導流管的上方。所述半導體激光器低溫老化測試裝置提高了除水汽的效率。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體激光器領域，具體涉及一種半導體激光器低溫老化測試裝置及低溫老化測試方法。

背景技術

半導體激光器是以一定的半導體材料做工作物質而產生激光的器件。半導體激光器的老化，是產品出貨前必須經(jīng)過的一道生產檢驗流程，經(jīng)過篩選后的半導體激光器才能保證其質量和使用壽命。低溫老化測試就是將半導體激光器的測試溫度降低，有利于打破半導體激光器的物理限制，了解半導體激光器的性能，從而提高半導體激光器的輸出功率、電轉化率等關鍵性能指標。

半導體激光器的工作溫度由常溫開始下降時，若測試環(huán)境中含有水汽，則水汽將會凝結在半導體激光器表面，造成凝露現(xiàn)象，影響激光器的測試及老化。一般室溫環(huán)境，當半導體激光器工作溫度為5℃－10℃時即開始凝露。半導體激光器若需要工作在零下的溫度區(qū)間，則需要除去環(huán)境中的水汽。因此，實現(xiàn)低溫老化測試的一個關鍵是去除測試環(huán)境中的水汽。

然而，現(xiàn)有的半導體激光器低溫老化測試裝置除水汽的效率較低。

發(fā)明內容

因此，本發(fā)明要解決的技術問題在于克服現(xiàn)有技術的半導體激光器低溫老化測試裝置除水汽的效率較低的問題。

本發(fā)明提供一種半導體激光器低溫老化測試裝置，包括：腔體；位于所述腔體的外部且與腔體連通的第一進氣管；位于所述腔體中的底部區(qū)域且與所述第一進氣管連通的導流管，所述導流管的管壁設置若干氣孔；位于所述腔體內部的通液夾具，所述通液夾具用于固定半導體激光器，所述通液夾具位于導流管的上方。

可選的，所述腔體的一側腔壁設置有出光窗口層；所述半導體激光器低溫老化測試裝置還包括：與所述出光窗口層相鄰的積分球單元，所述積分球單元放置在所述半導體激光器和所述出光窗口層之間。

可選的，所述導流管具有若干排氣孔；所述通液夾具包括若干沿著第一方向排布的固定座；至少一排氣孔沿著第一方向排布且設置于積分球單元和所述通液夾具之間的縫隙下方。

可選的，所述積分球單元包括透明密封腔殼、位于所述透明密封腔殼內部的若干積分球，所述積分球具有朝向所述出光窗口層的出光孔，相鄰的積分球之間具有間隙；所述半導體激光器低溫老化測試裝置還包括：與所述腔體貫通的進水管和出水管，且所述進水管和出水管延伸至所述腔體內并分別與所述積分球單元連通。

可選的，所述腔體上方設置有分層式蓋板；所述分層式蓋板包括：與所述腔體的側壁頂部連接的下層蓋板，所述下層蓋板具有貫穿所述下層蓋板厚度的第一蓋板開口；上層蓋板，所述上層蓋板位于所述第一蓋板開口上方以及第一蓋板開口周圍的下層蓋板的部分表面，所述上層蓋板在所述腔體的底壁的投影面積小于所述下層蓋板在所述腔體的底壁的投影面積。

可選的，所述上層蓋板包括環(huán)狀的上層板本體和嵌入在所述上層板本體中的觀察窗口層，所述上層板本體固定在所述第一蓋板開口周圍的下層蓋板的表面，所述觀察窗口層位于所述第一蓋板開口的上方。

可選的，所述通液夾具包括：通液座本體，所述通液座本體中具有相互間隔的第一通液道和第二通液道；位于部分所述通液座本體上的若干分立的絕緣座，各絕緣座下方的所述通液座本體之間的相互連接；位于各所述絕緣座背向所述通液座本體一側表面的固定座，所述固定座用于固定半導體激光器；貫穿所述絕緣座和所述固定座的第一通液凸起管和第二通液凸起管，第一通液凸起管和第二通液凸起管相互間隔，第一通液凸起管和第二通液凸起管均與所述通液座本體連接，所述第一通液凸起管中具有第三通液道，所述第二通液凸起管中具有第四通液道，所述第三通液道與所述第一通液道連通，所述第四通液道與所述第二通液道連通。