[發明專利]一種可變形研拋盤

在審

• 申請號: 202011416000.1
• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN112571203A
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 劉振宇;羅霄;王孝坤;張學軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: B24B13/01
• 分類號: B24B13/01
• 代理公司: 長春中科長光知識產權代理事務所(普通合伙) 22218
• 代理人: 高一明;郭婷

1.一種可變形研拋盤，其特征在于，包括：由1個圓形研拋盤和至少1個圓環狀研拋盤組成的研拋盤組、與所述研拋盤組連接的壓力元件組；通過改變與所述研拋盤組連接的所述壓力元件組施加的壓力，控制所述研拋盤組整體形狀。

2.如權利要求1所述的可變形研拋盤，其特征在于，所述圓形研拋盤包括：圓形基底、圓形基底研拋丸片組；所述圓形基底上表面連接所述壓力元件組，下表面連接所述圓形基底研拋丸片組。

3.如權利要求1所述的可變形研拋盤，其特征在于，所述圓環狀研拋盤包括：圓環狀基底、圓環狀基底研拋丸片組；所述圓環狀基底上表面連接所述壓力元件組，下表面連接所述圓環狀基底研拋丸片組。

4.如權利要求1所述的可變形研拋盤，其特征在于，所述壓力元件組包括與所述圓形研拋盤和所述圓環狀研拋盤一一對應并連接的壓力元件結構；連接所述圓形研拋盤的所述壓力元件結構包括1個壓力元件，連接所述圓環狀研拋盤的所述壓力元件結構包括至少3個壓力元件；所述壓力元件上表面連接剛性基底，下表面連接所述圓形研拋盤或所述圓環狀研拋盤，按角度均勻分布在圓周內，同步進行調節壓力動作，共同調節對連接的所述研拋盤施加的壓力。

5.如權利要求4所述的可變形研拋盤，其特征在于，所述壓力元件為氣缸、彈簧或液壓缸。

6.如權利要求2-4所述的任一可變形研拋盤，其特征在于，所述圓形基底、所述圓環狀基底和所述剛性基底的材料為鋁合金。