[發明專利]一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備

在審

• 申請號: 202011414040.2
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112553603A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 孔令杰;白曉航
• 申請（專利權）人: 安徽貝意克設備技術有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/34;C23C16/52;B65H18/10
• 代理公司: 合肥正則元起專利代理事務所(普通合伙) 34160
• 代理人: 劉生昕

1.一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，包括真空腔體和纖維傳動裝置，所述真空腔體包括中間中空腔(1)、放卷腔(2)、收卷腔(3)，所述中間中空腔(1)為管狀結構，且中間中空腔(1)的兩端固定連接在放卷腔(2)和收卷腔(3)上，所述中間中空腔(1)的內部設置有內加熱管(101)，所述內加熱管(101)的兩端穿過中間中空腔(1)分別設置在放卷腔(2)和收卷腔(3)的內部，所述內加熱管(101)與放卷腔(2)相接觸位置設置有絕緣密封圈，且在絕緣密封圈的側面上設置有電極，所述電極經導線與控制器(6)電連接；

所述纖維傳動裝置包括放卷輥(201)、測速輪一(202)、收卷輥(301)和測速輪二(302)，所述放卷輥(201)與測速輪一(202)設置在放卷腔(2)的內部，所述收卷輥(301)和測速輪二(302)設置在收卷腔(3)的內部。

2.根據權利要求1所述的一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，所述放卷腔(2)的內部設置有放卷軸，所述放卷軸的一端在放卷腔(2)上同電機輸出端連接，所述放卷輥(201)固定設置在放卷軸上，且測速輪一(202)在放卷腔(2)內部位于放卷輥(201)的右上方。

3.根據權利要求1所述的一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，所述收卷腔(3)的內部設置有收卷軸，所述收卷軸的一端在收卷腔(3)上同電機輸出端連接，所述收卷輥(301)固定設置在收卷軸上，且測速輪二(302)在收卷腔(3)內部位于收卷輥(301)的左上方。

4.根據權利要求1所述的一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，所述中間中空腔(1)為石英管。

5.根據權利要求1所述的一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，所述內加熱管(101)由石墨材質制成，且在內加熱管(101)的內部設置有熱電偶。

6.根據權利要求1所述的一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，所述放卷腔(2)的一側固定設置有氣體供給裝置(4)，所述氣體供給裝置(4)的輸出端通過管道與放卷腔(2)連接，且在該管道上設置有氣體流量控制計。

7.根據權利要求1所述的一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，所述收卷腔(3)的一側固定設置有真空泵組(5)，所述真空泵組(5)的輸入端通過管道與收卷腔(3)固定連接。

8.根據權利要求1所述的一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，所述控制器(6)與測速輪一(202)、測速輪二(302)及氣體供給裝置(4)電性連接。

9.根據權利要求1所述的一種內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備，其特征在于，該內加熱型氮化硼復合纖維化學氣相沉積設備的工作步驟為：將復合纖維材料繞于放卷輥(201)上，經過測速輪一(202)后，穿過內加熱管(101)，經過測速輪二(302)后，收于收卷輥(301)上，控制器(6)控制內加熱管(101)的溫度，電流經過內加熱管(101)后，產生焦耳熱對穿過的復合纖維材料加熱，同時氣體供給裝置(4)經高壓氣罐向放卷腔(2)內通入氨氣、氯化硼、氫氣三路氣體，并通過氣體流量控制計來控制通入氣體量，使混合氣體進入放卷腔(2)后，再經過內加熱管(101)，導入收卷腔(3)，在收卷腔(3)內被真空泵組(5)抽走排出。