[發(fā)明專利]改善聲表面波濾波器膜層界面結(jié)合強(qiáng)度的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011412000.4
• 申請日: 2020-12-03
• 公開（公告）號: CN112564661A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 翁志坤;許欣;宋曉輝
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東廣納芯科技有限公司
• 主分類號: H03H3/10
• 分類號: H03H3/10
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 任曼怡;張鑫

1.一種用于改善聲表面波濾波器膜層界面結(jié)合強(qiáng)度的方法，所述方法包括：

在壓電材料基板表面進(jìn)行激光微孔化處理，以在所述壓電材料基板表面形成一系列盲孔；以及

在經(jīng)激光微孔化處理的壓電材料基板表面鍍金屬電極。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，在所述壓電材料基板表面形成的一系列盲孔的深度和孔徑基于所述金屬電極的打底層金屬膜的厚度來確定。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括：

在所述金屬電極的表層金屬膜表面進(jìn)行所述激光微孔化處理，以在所述表層金屬膜表面形成一系列盲孔；以及

在經(jīng)激光微孔化處理的表層金屬膜表面鍍溫度補(bǔ)償層。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，在所述表層金屬膜表面形成的一系列盲孔的深度和孔徑基于所述溫度補(bǔ)償層的厚度來確定。

5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所形成的一系列盲孔為紡錘形。

6.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所形成的一系列盲孔的深度在100～200nm的范圍內(nèi)。

7.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所形成的一系列盲孔的孔間距在300～500nm的范圍內(nèi)。

8.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的方法，其中，進(jìn)行所述激光微孔化處理采用的激光器波長為193nm，激光脈寬為10^-12s，激光單脈沖能量為0.1～0.5J/cm²。