[發明專利]對制造部件承載件期間的未對準進行補償的方法和設備

在審

• 申請號: 202011411064.2
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112930045A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 阿卜德爾拉扎克·伊菲斯;馬庫斯·萊特格布
• 申請（專利權）人: 奧特斯奧地利科技與系統技術有限公司
• 主分類號: H05K3/46
• 分類號: H05K3/46;H05K3/00
• 代理公司: 成都超凡明遠知識產權代理有限公司 51258
• 代理人: 王暉;曹桓

1.一種對在制造層壓型部件承載件期間的未對準進行補償的方法，其中，所述方法包括：

在基于部件承載件結構(102)來制造所述部件承載件期間對所述部件承載件結構(102)的感興趣區域(100)的圖像進行檢測；

對所述感興趣區域(100)的所述圖像中的示出了相對于目標設計未對準的結構特征(104)進行識別；以及

通過對隨后待制造的至少一個相關的結構特征(106)的目標設計進行修改來至少部分地補償所述結構特征(104)的所識別的未對準，其中，至少一個所述相關的結構特征(106)與示出了未對準的所述結構特征(104)相關。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述方法包括基于修改后的目標設計來制造至少一個所述相關的結構特征(106)。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，所述方法包括在所述感興趣區域(100)中制造至少一個所述相關的結構特征(106)。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，所述未對準包括下述項中的至少一者：相對于目標位置的位置移位、相對于目標取向的旋轉未對準、以及未對準的所述結構特征(104)相對于目標角度特性的傾斜。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：

對在層壓型的所述部件承載件結構(102)的當前被處理的層結構(130)中的未對準的所述結構特征(104)進行識別；以及

通過在所述部件承載件結構(102)的隨后被處理的層結構(132)中實現所述相關的結構特征(106)的形成來至少部分地補償所述未對準，特別地，通過在所述部件承載件結構(102)的相對于當前被處理的層結構(103)而言的下一個較高的層結構中實現所述相關的結構特征(106)的形成來至少部分地補償所述未對準。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，所述方法包括：在對隨后被處理的層結構(132)進行處理之后，對被處理的至少一個另外的層結構迭代地重復所述識別以及所述至少部分地補償。

7.根據權利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：通過對所述部件承載件結構(102)的僅所述感興趣區域(100)內的而不是其他區域(108)中的所述目標設計進行修改來補償。

8.根據權利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：通過對所述部件承載件結構(102)的延伸超出所述感興趣區域(100)的伸出區域(110)中的所述目標設計進行修改來進行補償，其中，特別地，所述伸出區域(110)是面板型部件承載件(102)的四分之一板。

9.根據權利要求1所述的方法，其中，所述方法包括基于所述部件承載件結構(102)的一個或更多個對準標記(112)來使所述部件承載件結構(102)對準。

10.根據權利要求9所述的方法，其中，所述方法包括：由于形成所述結構特征(104)和/或由于形成所述相關的結構特征(106)而使得所述部件承載件結構(102)對準。

11.根據權利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：基于將未對準的所述結構特征(104)的目標設計與所述結構特征(104)的實際設計進行比較的結果來識別所述未對準。