[發明專利]薄膜晶體管陣列基板和包括其的數字X射線檢測器裝置

在審

• 申請號: 202011409862.1
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112928129A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 尹載皓;姜汶秀;張棟現;樸時亨
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G01T1/24;G01T1/20
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 林金朝

本公開內容涉及一種用于數字X射線檢測器裝置的薄膜晶體管陣列基板，包括：基底基板；多條數據線和多條柵極線，所述多條數據線和多條柵極線在所述基底基板上并被布置為彼此交叉；驅動薄膜晶體管，所述驅動薄膜晶體管設置在所述基底基板上，所述驅動薄膜晶體管包括第一電極、第二電極、柵電極和有源層；PIN二極管，所述PIN二極管連接到所述驅動薄膜晶體管；以及至少一個屏蔽層，所述至少一個屏蔽層設置在所述驅動薄膜晶體管上方并且被配置為覆蓋所述有源層，其中，所述至少一個屏蔽層電連接到所述數據線。

技術領域

本公開內容涉及一種用于數字X射線檢測器裝置的薄膜晶體管陣列基板和包括該薄膜晶體管陣列基板的數字X射線檢測器裝置，該薄膜晶體管陣列基板能夠使元件的閾值電壓的負偏移現象減到最低程度。

背景技術

因為X射線具有短波長，所以X射線可以容易地穿過對象。X射線的透射率取決于對象的內部密度。因此，可以通過檢測透射通過對象的X射線的量來觀察對象的內部結構。

在醫學領域中使用的基于X射線的檢查方法之一是膠片印刷方案。然而，在膠片印刷方案中，為了檢查結果，拍攝圖像，然后印刷膠片。因此，對結果的檢查需要花費很長時間。尤其是，在膠片印刷方案中，在存儲和保存印刷膠片方面存在一些困難。

使用薄膜晶體管的數字X射線檢測器(DXD)裝置已經被開發并廣泛用于醫療領域。

DXD裝置檢測透射通過對象的X射線的透射率，并且基于透射率在顯示器上顯示對象的內部狀態。

因此，數字X射線檢測器裝置可以顯示對象的內部結構，而不使用額外的膠片和印刷紙。此外，DXD裝置可以在X射線拍攝之后立即對結果進行實時檢查。

發明內容

一種數字X射線檢測器裝置，其檢測數字X射線檢測面板內的電流以基于電流實現圖像，并且其包括響應于光的光電PIN(P型半導體-本征型半導體-N型半導體)二極管和驅動光電PIN二極管的驅動薄膜晶體管。

在一些示例中，驅動薄膜晶體管優選地使用具有高遷移率的元件，使得驅動薄膜晶體管實現圖像。

當X射線照射到數字X射線檢測器裝置時，X射線可以被吸收到驅動薄膜晶體管元件的有源層中，因此，顯著地生成具有高遷移率的元件的閾值電壓的負偏移現象。

在元件中顯著地生成元件的閾值電壓的負偏移現象，這導致元件的缺陷。

因此，本公開內容的發明人發明了一種用于數字X射線檢測器裝置的薄膜晶體管陣列基板和包括該薄膜晶體管陣列基板的數字X射線檢測器裝置，該薄膜晶體管陣列基板能夠使元件的閾值電壓的負偏移現象減到最低程度。

本公開內容提供了一種用于數字X射線檢測器裝置的薄膜晶體管陣列基板以及數字X射線檢測器裝置，其能夠使驅動薄膜晶體管元件向X射線的暴露減到最低程度。

本公開內容還提供了一種用于數字X射線檢測器裝置的薄膜晶體管陣列基板以及數字X射線檢測器裝置，其能夠使驅動薄膜晶體管元件的閾值電壓的負偏移現象減到最低程度。

本公開內容的目的不限于上述目的，并且本公開內容的未提及的其它目的和優點可以通過以下描述來理解，并且通過本公開內容的實施例來更清楚地理解。還容易理解，本公開內容的目的和優點可以通過所附權利要求及其組合中描述的特征來實現。

根據本公開內容的實施例，提供了一種用于數字X射線檢測器裝置的薄膜晶體管陣列基板和數字X射線檢測器裝置，其能夠使驅動薄膜晶體管元件向X射線的暴露減到最低程度，并且使元件的閾值電壓的負偏移現象減到最低程度。