[發(fā)明專利]適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011403027.7
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN112609166A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發(fā)明（設計）人: 朱蓓蓓;孟光;秦琳;墨洪磊;蘭潔;袁航;陸波;陳勰;楊英杰;程輝
• 申請（專利權）人: 上海航天控制技術研究所
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 上海段和段律師事務所 31334
• 代理人: 李佳俊;郭國中

1.一種適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具，其特征在于，包括：頂針(2)、卡頭(3)、卡頭座(5)、彈性件(9)和拉桿(10)，

諧振子中心軸(1)的一端與所述卡頭(3)相接觸，所述卡頭座(5)與卡頭(3)連接；

諧振子中心軸(1)的另一端固定在所述頂針(2)上；

所述彈性件(9)套設于所述拉桿(10)上；

所述頂針(2)和所述拉桿(10)形成拉桿頂針，所述拉桿頂針的壓力由所述彈性件(9)進行調(diào)節(jié)。

2.根據(jù)權利要求1所述的適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具，其特征在于，當適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具處于工作狀態(tài)時，諧振子中心軸(1)的另外一端通過與拉桿頂針接觸，同時通過調(diào)節(jié)伸縮長度以及連接件位置來匹配工件的尺寸大小。

3.根據(jù)權利要求1所述的適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具，其特征在于，還包括拉筒(8)，所述拉筒(8)套設在所述彈性件和所述拉桿(10)的外部。

4.根據(jù)權利要求1所述的適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具，其特征在于，還包括拉桿座板(6)，所述卡頭(3)和所述頂針(2)通過所述拉桿座板(6)相連。

5.根據(jù)權利要求4所述的適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)架卡頭(4)，所述轉(zhuǎn)架卡頭(4)的一端嵌套在所述拉桿座板(6)的一端，所述轉(zhuǎn)架卡頭(4)的另一端與卡頭(3)相連接。

6.根據(jù)權利要求1所述的適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具，其特征在于，進行裝配時，諧振子中心軸(1)的一端插入所述卡頭座(5)底面的凹槽中進行固定，諧振子中心軸(1)的另外一端將拉桿(10)往下壓，使所述拉桿頂針插入諧振子中心軸(1)的中心孔中，所述拉桿(10)處于彈回狀態(tài)。

7.根據(jù)權利要求3所述的適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具，其特征在于，所述拉筒(8)處于遠離頂針(2)的一端。

8.根據(jù)權利要求1所述的適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具，其特征在于，適用于半球諧振子的一次成膜無遮擋鍍膜夾具僅與諧振子中心軸(1)的兩端接觸，均無需剛性夾持，配合完成諧振子空間多維運動。