[發(fā)明專利]一種紫外飛秒激光器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011402661.9 | 申請(qǐng)日： | 2020-12-04 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112636153B | 公開（公告）日： | 2021-11-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄒鍶;何飛;陳抗抗;萬(wàn)威 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 武漢安揚(yáng)激光技術(shù)股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01S3/109 | 分類號(hào)： | H01S3/109 |
| 代理公司： | 武漢知產(chǎn)時(shí)代知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42238 | 代理人： | 馬帥 |
| 地址： | 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)左嶺街光電園二路6號(hào)安揚(yáng)激光*** | 國(guó)省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 紫外 激光器 | ||
本發(fā)明提供一種紫外飛秒激光器，包括沿激光的出射方向依次設(shè)置的基頻飛秒激光器、二倍頻晶體、偏振控制器、三倍頻晶體和第一雙折射晶體，第一雙折射晶體包括第一入射端面、第一出射端面和第二出射端面，第一入射端面和第一出射端面平行，第二出射端面位于第一出射端面的反射光的出光方向上，第一入射端面和第一出射端面均透射三倍頻飛秒激光，第一出射端面全反射二倍頻飛秒激光和基頻飛秒激光，第二出射端面透射二倍頻飛秒激光和基頻飛秒激光；從三倍頻晶體出射的不同波長(zhǎng)的激光以三倍頻光的布魯斯特角經(jīng)第一入射端面射入第一雙折射晶體，第一雙折射晶體將不同波長(zhǎng)的激光分離。本發(fā)明提供的紫外飛秒激光器體積小、調(diào)試方便。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及激光器領(lǐng)域，尤其涉及一種紫外飛秒激光器。
背景技術(shù)
紫外飛秒激光一般通過(guò)腔外倍頻產(chǎn)生，具有飛秒激光高峰值功率和紫外光短波長(zhǎng)的特點(diǎn)，因此激光器內(nèi)部光學(xué)器件非常容易損壞，從而影響激光器壽命。紫外光諧波分離器是激光器中比較容易損壞的光學(xué)元件，其是一種鍍紫外光反射其它光透射的分光膜的分束鏡，不鍍膜的損傷閾值遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于鍍膜，因此可以使用不鍍膜的分光元件替換掉鍍膜的分束鏡。常見的不鍍膜分光器件有：色散補(bǔ)償棱鏡對(duì)和格蘭泰勒棱鏡。色散補(bǔ)償棱鏡對(duì)布魯斯特角入射，透過(guò)率較高，但是調(diào)節(jié)麻煩，而且會(huì)引入較大的色散，影響紫外飛秒激光的脈寬；格蘭泰勒棱鏡入射光為正入射，且有一部分能量會(huì)在空氣隙中損失，上述兩種不鍍膜分光器件的紫外光透過(guò)率一般低于90％。
綜上，將不鍍膜、透過(guò)率高且不影響紫外飛秒激光參數(shù)的諧波分離器用于紫外飛秒激光器中會(huì)大幅提高激光器壽命。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供了一種紫外飛秒激光器，該紫外飛秒激光器使用不鍍膜、透過(guò)率高且不影響紫外飛秒激光參數(shù)的諧波分離器。
本發(fā)明提供一種紫外飛秒激光器，包括基頻飛秒激光器、二倍頻晶體、偏振控制器、三倍頻晶體、第一雙折射晶體、第一擋光塊和第二擋光塊，所述基頻飛秒激光器、二倍頻晶體、偏振控制器、三倍頻晶體和第一雙折射晶體沿激光的出射方向依次設(shè)置，所述第一雙折射晶體包括第一入射端面、第一出射端面和第二出射端面，所述第一入射端面和第一出射端面平行，所述第二出射端面位于第一出射端面的反射光的出光方向上，所述第一入射端面和第一出射端面均透射三倍頻飛秒激光，且所述第一入射端面部分反射二倍頻飛秒激光和基頻飛秒激光，所述第一出射端面全反射二倍頻飛秒激光和基頻飛秒激光，所述第二出射端面透射二倍頻飛秒激光和基頻飛秒激光；所述第一擋光塊位于第一入射端面的反射光的出光方向上，所述第二擋光塊位于第二出射端面的出光方向上；從三倍頻晶體出射的不同波長(zhǎng)的激光以三倍頻光的布魯斯特角經(jīng)第一入射端面射入第一雙折射晶體，經(jīng)第一雙折射晶體后，不同波長(zhǎng)的激光發(fā)生分離。
進(jìn)一步地，所述第一雙折射晶體還包括第三出射端面和第四出射端面，所述第三出射端面與第二出射端面平行，所述第三出射端面和第二出射端面均全反射三倍頻飛秒激光、部分反射基頻飛秒激光和二倍頻飛秒激光，所述第四出射端面透射基頻飛秒激光和二倍頻飛秒激光。
進(jìn)一步地，所述紫外飛秒激光器還包括第四擋光塊，所述第四擋光塊位于第三出射端面的透射光的出光方向上。
進(jìn)一步地，所述紫外飛秒激光器還包括第二雙折射晶體，所述第二雙折射晶體與第一雙折射晶體對(duì)稱放置，所述第二雙折射晶體包括第二入射端面和透射端面，所述第二入射端面和透射端面平行，且均透射三倍頻飛秒激光，所述第二入射端面位于第一出射端面的透射光的出光方向上。
進(jìn)一步地，所述二倍頻晶體是按Ⅰ類相位匹配角切割的LBO或BBO晶體。
進(jìn)一步地，所述三倍頻晶體是按Ⅰ類相位匹配角切割的LBO或BBO晶體。
進(jìn)一步地，所述第一雙折射晶體和第二雙折射晶體均為紫外光透明的α-BBO晶體。
進(jìn)一步地，所述第一雙折射晶體和第二雙折射晶體均為紫外光透明的石英晶體。
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