[發明專利]掩膜條、掩膜板及顯示面板的制備方法

有效

• 申請號: 202011391331.4
• 申請日: 2020-12-02
• 公開（公告）號: CN112522665B
• 公開（公告）日: 2022-11-18
• 發明（設計）人: 韓冰;劉明星;李文星;李偉麗;方旭陽
• 申請（專利權）人: 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 娜拉

本申請實施例提供一種掩膜條、掩膜板及顯示面板的制備方法。本申請第一方面提供一種掩膜條，包括圖案蒸鍍區及相鄰兩個圖案蒸鍍區之間的遮擋區，圖案蒸鍍區包括：蒸鍍開口，在圖案蒸鍍區呈陣列分布；抗拉應力部，在掩膜條的張網方向上位于相鄰兩個蒸鍍開口之間，抗拉應力部包括朝向蒸鍍開口的第一變形邊緣；掩膜條具有復位狀態，在復位狀態下，第一變形邊緣朝向蒸鍍開口內凹進。設置抗拉應力部增大掩膜條整體強度，避免掩膜條張網過程中發生破損，提升用該掩膜條制備顯示面板陰極層的良率。

技術領域

本發明涉及顯示設備技術領域，尤其涉及一種掩膜條、掩膜板及顯示面板的制備方法。

背景技術

有機發光二極管顯示(Organic Light Emitting Display，OLED)面板等平面顯示面板已經成為顯示裝置中的主流。

現有的OLED顯示面板制備過程中需要應用蒸鍍工藝，蒸鍍工藝采用的掩膜條強度低，對掩膜條張網制備掩膜板的過程中掩膜條容易破損變形，使得掩膜板制備難度大，掩膜板良率低。

因此急需一種新型的掩膜條、掩膜板及顯示面板的制備方法。

發明內容

本申請實施例提供一種掩膜條、掩膜板及顯示面板的制備方法，在掩膜條的圖案蒸鍍區中設置有抗拉應力部，增大掩膜條強度，避免制備掩膜板時在對掩膜條張網過程中掩膜條破損，提升掩膜板制備良率。

本申請實施例第一方面提供一種掩膜條，包括圖案蒸鍍區及相鄰兩個圖案蒸鍍區之間的遮擋區，圖案蒸鍍區包括：

蒸鍍開口，在圖案蒸鍍區呈陣列分布；

抗拉應力部，在掩膜條的張網方向上位于相鄰兩個蒸鍍開口之間，抗拉應力部包括朝向蒸鍍開口的第一變形邊緣；

掩膜條具有復位狀態，在復位狀態下，抗拉應力部的第一變形邊緣朝向蒸鍍開口內凹進。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，抗拉應力部在張網方向上具有相對的兩個第一變形邊緣，在復位狀態下兩個第一變形邊緣分別沿著張網方向、向相鄰的兩個蒸鍍開口內部凹進；

優選的，在復位狀態下、第一變形邊緣沿掩膜條厚度方向的正投影呈弧形。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，掩膜條還具有張網狀態，在張網狀態下第一變形邊緣背離蒸鍍開口方向收縮形變；

優選的，在張網狀態下，第一變形邊緣沿掩膜條厚度方向的正投影呈直線形。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，張網方向上位于同一個蒸鍍開口兩側的相鄰兩個抗拉應力部的兩個第一變形邊緣相對，且復位狀態下相向凹進、張網狀態下背向凸出；

優選的，在張網狀態下，第一變形邊緣在掩膜條厚度方向上的正投影呈弧形。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，圖案蒸鍍區還包括阻隔部，用于在與張網方向垂直的第一方向上隔離相鄰兩個蒸鍍開口，第一方向上阻隔部包括相對的兩個第二變形邊緣；

在張網狀態下，阻隔部的兩個第二變形邊緣在第一方向上分別朝向相鄰的兩個蒸鍍開口內凹進。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，在復位狀態下，張網方向上抗拉應力部在圖案蒸鍍區位錯分布。

本申請實施例第二方面提供一種掩膜板，包括：

框式框架，具有開口結構；

本申請第一方面的掩膜條，掩膜條處于張網狀態，掩膜條張網方向上的兩端固定設置于框式框架。

在本申請實施例第二方面一種可能的實施方式中，

掩膜條的抗拉應力部在張網方向上具有相對的兩個第一變形邊緣；