[發(fā)明專利]一種靶材圓筒退綁裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011389890.1 | 申請(qǐng)日: | 2020-12-02 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112725743B | 公開(公告)日: | 2022-10-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 郭慶生;余芳;朱劉;童培云;何坤鵬 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 先導(dǎo)薄膜材料(廣東)有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C14/34 | 分類號(hào): | C23C14/34;C22B58/00;C22B7/00;B23K1/018 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 511517 廣東省清*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 圓筒 裝置 | ||
1.一種靶材圓筒退綁裝置,其特征在于,包括:
底板和第一豎板,所述底板和第一豎板連接在一起,所述底板和第一豎板相互垂直并形成L形;
所述底板頂面上設(shè)置有滑軌,所述滑軌上設(shè)有與其滑動(dòng)配合的滑臺(tái)支架,所述滑臺(tái)支架上設(shè)置有用于固定靶材圓筒的一端的第一夾緊轉(zhuǎn)軸,所述第一夾緊轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)離靶材圓筒的一端設(shè)置有用于控制第一夾緊轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的第一電機(jī);
所述第一豎板頂面的中心處設(shè)置有用于固定靶材圓筒的另一端的第二夾緊轉(zhuǎn)軸,靶材圓筒置于所述第一夾緊轉(zhuǎn)軸與第二夾緊轉(zhuǎn)軸之間,所述靶材圓筒的下端設(shè)置有加熱器,所述加熱器與底板之間設(shè)置有用于控制加熱器升降的支撐缸;
所述退綁裝置還包括第二豎板,所述第二豎板設(shè)置在底板遠(yuǎn)離第一豎板的一端,所述第二豎板與底板連接在一起,并和底板相互垂直并形成L形;所述滑臺(tái)支架底面為具有螺紋結(jié)構(gòu)的底面,所述滑臺(tái)支架底部還設(shè)置有與滑臺(tái)支架底面螺紋相互配合的傳動(dòng)螺桿,所述傳動(dòng)螺桿貫穿且固定設(shè)置在第二豎板的中心處,其中,所述傳動(dòng)螺桿的中心線與底板長(zhǎng)軸中心線在同一直線上;
所述傳動(dòng)螺桿伸出第二豎板的一端設(shè)置有帶動(dòng)傳動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)的第二電機(jī);傳動(dòng)螺桿上的滑臺(tái)支架可通過第二電機(jī)的控制進(jìn)行左右位移,滑臺(tái)支架上的第一夾緊轉(zhuǎn)軸可通過第一電機(jī)的控制進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材圓筒退綁裝置,其特征在于,所述滑軌包括第一滑軌和第二滑軌,所述第一滑軌離底板長(zhǎng)軸中心線的距離與第二滑軌離底板長(zhǎng)軸中心線的距離相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材圓筒退綁裝置,其特征在于,所述傳動(dòng)螺桿上設(shè)置有對(duì)滑臺(tái)支架進(jìn)行限位的第一限位塊和第二限位塊,所述第一限位塊和第二限位塊分別設(shè)置在滑臺(tái)支架的兩端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材圓筒退綁裝置,其特征在于,所述加熱器包括加熱器本體以及加熱器蓋,所述加熱器本體內(nèi)設(shè)置有加熱腔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種靶材圓筒退綁裝置,其特征在于,所述加熱腔兩端設(shè)置有可拆卸擋片,所述擋片上設(shè)置有U形缺口,其中,靶材圓筒設(shè)置在U形缺口內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材圓筒退綁裝置,其特征在于,所述支撐缸的數(shù)量至少為2個(gè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材圓筒退綁裝置,其特征在于,所述底板底面的四個(gè)邊角處均固定設(shè)有支撐腳座。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





