[發明專利]一種材料出氣率測試裝置及方法

在審

• 申請號: 202011389010.0
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN112683726A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 劉建龍;李長春;馬向利;張喜平;朱小榮;蒙峻;楊偉順;羅成;謝文君;柴振;藺曉建;萬亞鵬;焦紀強;高彥民
• 申請（專利權）人: 中國科學院近代物理研究所
• 主分類號: G01N7/16
• 分類號: G01N7/16
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 謝斌

1.一種材料出氣率測試裝置，其特征在于，包括樣品室(1)、對照室(3)、對稱盲板法蘭(2)、連接管路(6)、上測試室(12)、下測試室(16)、小孔流導法蘭(15)，分子泵機組(9)、濺射離子泵(18)、上室分離規(13)、下室分離規(17)和全量程真空規(8)，

所述樣品室(1)與所述對照室(3)通過所述對稱盲板法蘭(2)連接在一起；

所述小孔流導法蘭(15)中部開設有流導孔(C)，所述上測試室(12)與所述下測試室(16)通過所述小孔流導法蘭(15)連接在一起；

所述連接管路(6)包括主管道、樣品室支管、對照室支管、上測試室支管、下測試室支管和分子泵機組支管，所述樣品室支管和所述對照室支管的進氣端分別連通于所述樣品室(1)與所述對照室(3)，所述上測試室支管和所述下測試室支管的出氣端分別連通于所述上測試室(12)與所述下測試室(16)，所述樣品室支管和所述對照室支管的出氣端匯合至所述主管道的進氣端，所述主管道的出氣端分出兩路分別與所述上測試室支管和所述下測試室支管的進氣端相連通；

所述分子泵機組(9)與所述主管道的中部通過所述分子泵機組支管連通；

所述濺射離子泵(18)與所述下測試室(16)相連通；

所述上室分離規(13)和所述下室分離規(17)分別設置于所述上測試室(12)與所述下測試室(16)；

所述樣品室支管和所述對照室支管上分別設置有上樣品室角閥(4)和對照室角閥(5)，所述上測試室支管和所述下測試室支管上分別設置有上測試室角閥(10)和下測試室角閥(11)，所述分子泵機組支管上設置有分子泵口角閥(7)；

其中，所述樣品室(1)和所述對照室(3)完全相同，樣品室(1)用于放置實驗樣品，對照室(3)作為不放置樣品的對照組；

所述分子泵機組(9)用于烘烤前及烘烤過程中對裝置抽氣；

所述濺射離子泵(18)用于烘烤過程中以及烘烤結束后對裝置抽氣；

所述上室分離規(13)和所述下室分離規(17)分別用于檢測述上測試室(12)與所述下測試室(16)的真空度；

所述全量程真空規(8)用于檢測分子泵機組支管的真空度。

2.如權利要求1所述的材料出氣率測試裝置，其特征在于，

所述上室分離規(13)和所述下室分離規(17)的真空度的檢測范圍為2×10^-10Pa～1×10^-4Pa；

所述分子泵機組(9)由8L·s^-1的干式機械泵和600L·s^-1的渦輪分子泵組成；

所述濺射離子泵(18)的氣體抽速為400L·s^-1。

3.如權利要求1所述的材料出氣率測試裝置，其特征在于，

所述上樣品室角閥(4)、所述對照室角閥(5)、所述分子泵口角閥(7)、所述上測試室角閥(10)和所述下測試室角閥(11)均為全金屬材質閥門。