[發明專利]輸送系統和輸送方法

在審

• 申請號: 202011388507.0
• 申請日: 2020-12-02
• 公開（公告）號: CN112992640A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 杉田吉平;永井健治
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;徐飛躍

1.一種向處理裝置輸送聚焦環的輸送系統，其特征在于：

所述輸送系統包括輸送裝置和位置檢測系統，

所述處理裝置具有：

腔室主體；和

載置臺，其設置于由所述腔室主體提供的腔室內，包含基片載置區域和包圍所述基片載置區域的聚焦環載置區域，

所述輸送裝置構成為能夠將所述聚焦環輸送到所述聚焦環載置區域上，

所述位置檢測系統包括：

構成為能夠產生測量光的光源；

多個光學元件，其構成為使所述光源所產生的所述測量光作為出射光出射并且供反射光入射；

驅動部，其構成為使所述光學元件分別移動，以掃描從支承于所述聚焦環載置區域的所述聚焦環至所述基片載置區域為止的掃描范圍；和

控制部，其構成為按每個所述光學元件，基于所述掃描范圍內的所述反射光來計算支承于所述聚焦環載置區域的所述聚焦環與所述載置臺的位置關系，

所述輸送裝置構成為基于由所述控制部計算出的所述位置關系來調節將所述聚焦環輸送到所述聚焦環載置區域上的位置。

2.如權利要求1所述的輸送系統，其特征在于：

所述多個光學元件為三個以上的光學元件，

所述光學元件分別被配置成能夠對所述基片載置區域的上表面的端部出射所述測量光，

所述控制部構成為在要將所述聚焦環輸送到所述聚焦環載置區域上的情況下，能夠基于所述基片載置區域的外緣的所述反射光來判斷支承于所述輸送裝置的所述聚焦環與所述基片載置區域的位置關系。

3.如權利要求1或2所述的輸送系統，其特征在于：

所述控制部構成為以極坐標來計算支承于所述聚焦環載置區域的所述聚焦環與所述載置臺的位置關系。

4.一種輸送聚焦環的輸送方法，其特征在于，包括：

將所述聚焦環輸送到聚焦環載置區域的步驟，其中，所述聚焦環載置區域包圍載置臺的載置基片的基片載置區域的周圍；

用多個光學元件掃描從支承于所述聚焦環載置區域的所述聚焦環至所述基片載置區域為止的掃描范圍的步驟，其中，所述多個光學元件使測量光作為出射光出射并且供反射光入射；

基于所述掃描范圍內的所述反射光來計算支承于所述聚焦環載置區域的所述聚焦環與所述載置臺的位置關系的步驟；和

基于所述計算步驟中計算出的支承于所述聚焦環載置區域的所述聚焦環與所述載置臺的位置關系，來確定所述聚焦環的輸送位置的步驟。