[發(fā)明專利]一種環(huán)形背板的加工方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011384826.4
• 申請(qǐng)日: 2020-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN112518256A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學(xué)澤;侯娟華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): B23P15/00
• 分類號(hào): B23P15/00
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發(fā)明提供了一種環(huán)形背板的加工方法，所述方法包括以下步驟：將錠材進(jìn)行鏜孔處理，得到芯材和空心錠材；將得到的空心錠材進(jìn)行切斷處理，然后進(jìn)行精加工，得到規(guī)定尺寸的環(huán)形背板。本發(fā)明所述方法通過對(duì)錠材整體進(jìn)行鏜孔處理，可以得到大尺寸的芯材，便于進(jìn)一步使用，避免材料的浪費(fèi)，降低了成本，材料利用率高；所述方法先進(jìn)行鏜孔處理，可以減少鏜孔處理的次數(shù)，避免了多次鏜孔處理時(shí)容易造成的尺寸不均一的問題，產(chǎn)品合格率有效提高；所述方法切斷處理時(shí)的切斷量較少，可以有效提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于靶材制備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種環(huán)形背板的加工方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，鍍膜材料作為半導(dǎo)體電子器件制造的重要材料，其需求量也日益增加。靶材作為一種重要的鍍膜材料，在集成電路、平面顯示、太陽能、光學(xué)器件等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。而靶材組件作為鍍膜生產(chǎn)的基本結(jié)構(gòu)單元，由靶材和背板構(gòu)成，背板主要起到固定濺射靶材的作用，且需要具備良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能，其結(jié)構(gòu)及性能對(duì)鍍膜的性能也具有重要的影響，因而背板的加工制備也是靶材應(yīng)用的重要組成部分。

背板的結(jié)構(gòu)除了常見的帶有凹槽的結(jié)構(gòu)形式，具有空心結(jié)構(gòu)的環(huán)形背板也是一種重要的結(jié)構(gòu)形式，目前，環(huán)形背板的制備通常是將整根錠材切斷，然后將中心區(qū)域車削去掉，車削掉的材料相對(duì)來說體積較小，難以再用作背板結(jié)構(gòu)，通常當(dāng)做廢料處理，造成整根錠材的材料浪費(fèi)較多，加工成本提高。

CN 207642214U公開了一種靶材背板快速成型裝置，所述裝置包括外圓環(huán)和沖壓頭，將加熱的坯料置于成型裝置外圓環(huán)內(nèi)，采用鍛錘將沖壓頭壓入坯料表面，使坯料充滿成型裝置；所述的外圓環(huán)為臺(tái)階環(huán)形結(jié)構(gòu)，沖壓頭為錐臺(tái)結(jié)構(gòu)，臺(tái)階處為斜角設(shè)計(jì)；該裝置采用模具鍛造的方法來實(shí)現(xiàn)背板成型，但模具的結(jié)構(gòu)固定，使得產(chǎn)品尺寸單一，且需要坯料達(dá)到較高的溫度才能達(dá)到快速形變的目的；制備的背板是凹槽結(jié)構(gòu)，即該方法不適合用于具有環(huán)形貫穿孔的背板的制備。

CN 103464785A公開了一種桿狀工件的車削切斷方法，其步驟包括：上料，待切工件的一端為成品端，另一端為余料端，將待切工件的成品端夾持在機(jī)床的卡盤處，工件的余料端位卡盤外側(cè)；切斷，機(jī)床的卡盤轉(zhuǎn)動(dòng)，采用普通車削方法對(duì)待切工件進(jìn)行切斷，切斷后得到的成品工件被夾持于機(jī)床的卡盤上，待切工件的余料端掉落，刀具繼續(xù)進(jìn)給，車削成品端的切斷面處的毛刺。該方法的重點(diǎn)在于工件的切斷以及毛刺去除，對(duì)于是否為空心結(jié)構(gòu)及其加工過程并未涉及。

綜上所述，對(duì)于環(huán)形背板的加工制備，還需要選擇合適的工藝方法，既能夠節(jié)省材料避免浪費(fèi)，又能夠快速得到表面無毛刺、尺寸符合要求的背板，且工藝方法簡(jiǎn)單，工藝成本低。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種環(huán)形背板的加工方法，所述方法通過對(duì)錠材整體進(jìn)行鏜孔處理，可以得到大尺寸的芯材，便于進(jìn)一步使用，避免材料的浪費(fèi)，同時(shí)該操作減少了鏜孔處理的次數(shù)，有助于得到尺寸均一的產(chǎn)品，也減少了切斷處理的切斷量，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種環(huán)形背板的加工方法，所述方法包括以下步驟：

(1)將錠材進(jìn)行鏜孔處理，得到芯材和空心錠材；

(2)將步驟(1)得到的空心錠材進(jìn)行切斷處理，然后進(jìn)行精加工，得到規(guī)定尺寸的環(huán)形背板。

本發(fā)明中，在環(huán)形背板的制備工藝中，首先將錠材原料進(jìn)行鏜孔處理，使得到的芯材仍具有較大的尺寸，可進(jìn)一步使制備其它尺寸的產(chǎn)品，有效避免了材料的浪費(fèi)，而先進(jìn)行鏜孔處理，可一次性實(shí)現(xiàn)多個(gè)切斷件的穿孔，避免了后續(xù)對(duì)每個(gè)切斷件進(jìn)行鏜孔處理時(shí)容易造成尺寸不均一的問題，減少了鏜孔處理的次數(shù)；而且先進(jìn)行鏜孔處理，后續(xù)切斷時(shí)環(huán)形截面的面積較小，減少了切斷量，提高了背板產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

以下作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案，但不作為本發(fā)明提供的技術(shù)方案的限制，通過以下技術(shù)方案，可以更好地達(dá)到和實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)目的和有益效果。