[發(fā)明專利]一種基于多相磁電感應(yīng)的精密微電機(jī)檢測(cè)裝置及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011384711.5
• 申請(qǐng)日: 2020-12-01
• 公開（公告）號(hào): CN112557901A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李海青;夏傅豪;代新;張彬;羅久飛;李靖;寧景暉;劉新;鄭明軒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶郵電大學(xué)
• 主分類號(hào): G01R31/34
• 分類號(hào): G01R31/34
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務(wù)所 50215
• 代理人: 王海軍

本發(fā)明屬于微電機(jī)領(lǐng)域，具體涉及一種基于多相磁電感應(yīng)的精密微電機(jī)檢測(cè)裝置，該裝置包括：外殼、端蓋、感應(yīng)電壓采集裝置、信號(hào)處理裝置；所述感應(yīng)電壓采集裝置與所述信號(hào)處理裝置導(dǎo)通，且感應(yīng)電壓采集裝置與信號(hào)處理裝置均設(shè)置在箱體的內(nèi)部；所述端蓋固定在箱體的頂部；本發(fā)明通過設(shè)置多角度的感應(yīng)線圈，能一次完成多個(gè)角度的感應(yīng)電壓信號(hào)采集，采用非接觸的多通道感應(yīng)電壓檢測(cè)方法，可提高感應(yīng)電壓信號(hào)信噪比，且不會(huì)對(duì)精密微電機(jī)運(yùn)行狀態(tài)造成干擾，使檢測(cè)結(jié)果更加準(zhǔn)確、可靠。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于微電機(jī)領(lǐng)域，具體涉及一種基于多相磁電感應(yīng)的精密微電機(jī)檢測(cè)裝置及方法。

背景技術(shù)

隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)學(xué)科的發(fā)展，精密微電機(jī)作為電子機(jī)械系統(tǒng)的核心動(dòng)力元件之一，在國防軍工、生物醫(yī)療、精密儀器等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，其運(yùn)行狀態(tài)對(duì)整個(gè)機(jī)械系統(tǒng)的工作性能和安全性能產(chǎn)生重要影響。為保障產(chǎn)品出廠品質(zhì)，必須對(duì)精密微電機(jī)進(jìn)行全面檢測(cè)。

傳統(tǒng)的微電機(jī)檢測(cè)方法主要有測(cè)溫法、辯音法和觀察法等，傳統(tǒng)檢測(cè)方法基本上是依靠質(zhì)量檢測(cè)人員的經(jīng)驗(yàn)，能在一定程度上檢測(cè)出異常的精密微電機(jī)，但這些方法需要經(jīng)驗(yàn)豐富的檢測(cè)人員，而且檢測(cè)效率低下，漏檢、誤檢現(xiàn)象嚴(yán)重，無法識(shí)別電機(jī)異常位置，導(dǎo)致電機(jī)出廠質(zhì)量不穩(wěn)定。

目前，比較常用的機(jī)械狀態(tài)檢測(cè)方法有：振動(dòng)信號(hào)分析法、聲學(xué)分析法、電磁感應(yīng)分析法等。振動(dòng)信號(hào)包含豐富的機(jī)械運(yùn)行信息，信號(hào)特征明顯，但在精密微電機(jī)上難以安裝傳感器，接觸式傳感器易影響精密微電機(jī)的檢測(cè)結(jié)果且難以測(cè)量精密微電機(jī)的微小振動(dòng)。聲學(xué)分析法信號(hào)采集簡單、迅速，但易受到其他環(huán)境噪聲干擾，不適用于精密微電機(jī)的檢測(cè)。現(xiàn)有電磁感應(yīng)分析法通常是將檢測(cè)線圈安裝在定子齒上，雖不影響設(shè)備正常工作，但使用此方法無法測(cè)量電機(jī)轉(zhuǎn)速，且難以在精密微電機(jī)內(nèi)部安裝檢測(cè)線圈。

發(fā)明內(nèi)容

為解決以上現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提出了一種基于多相磁電感應(yīng)的精密微電機(jī)檢測(cè)裝置，該裝置包括：外殼1、端蓋2、感應(yīng)電壓采集裝置4以及信號(hào)處理裝置5；所述感應(yīng)電壓采集裝置4與所述信號(hào)處理裝置5導(dǎo)通，感應(yīng)電壓采集裝置4與信號(hào)處理裝置5均設(shè)置在箱體1的內(nèi)部；所述端蓋2固定在箱體1的頂部。

優(yōu)選的，外殼1包括箱體11、開關(guān)按鈕12、切換按鈕13、OLED顯示器14、圓形滑槽16和滑塊17；開關(guān)按鈕12、切換按鈕13以及OLED顯示器14設(shè)置在箱體11的外部；所述開關(guān)按鈕12用于控制檢測(cè)裝置的啟動(dòng)；所述切換按鈕13與切換OLED顯示器14連接，用于切換OLED顯示器14顯示不同角度的信號(hào)；所述圓形滑槽16和所述滑塊17設(shè)置在箱體11的內(nèi)部，且滑塊17設(shè)置在圓形滑槽16上，滑塊17可以在圓形滑槽16上滑動(dòng)。

進(jìn)一步的，箱體11上設(shè)置有圓孔111和橡膠蓋112，橡膠蓋112設(shè)置在圓孔111上；所述圓孔111用于放置待檢測(cè)的精密微電機(jī)。

優(yōu)選的，感應(yīng)電壓采集裝置4包括固定器41和電磁感應(yīng)裝置42；固定器41為柱體結(jié)構(gòu)，固定器41的中心設(shè)置有第一通孔411；固定器41的外部設(shè)置有至少1個(gè)半圓柱形凹槽412；所述電磁感應(yīng)裝置42設(shè)置在半圓柱形凹槽412內(nèi)。

進(jìn)一步的，感應(yīng)電壓采集裝置4的固定器41設(shè)置在外殼1的箱體11內(nèi)，固定器41第一通孔411的一端與箱體11的圓孔111對(duì)應(yīng)，固定器41第一通孔411的另一端固定在滑塊17上，使得固定器41能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。

進(jìn)一步的，固定器41的外部設(shè)置有五個(gè)半圓柱形凹槽412，且第i個(gè)半圓柱形凹槽與第i+1個(gè)半圓柱形凹槽在固定器41上的間隔為60°。

進(jìn)一步的，電磁感應(yīng)裝置42包括封裝殼421、繞線柱422以及感應(yīng)線圈423；感應(yīng)線圈423纏繞在繞線柱422上，繞線柱422設(shè)置在封裝殼421的內(nèi)部。

進(jìn)一步的，封裝殼421內(nèi)部設(shè)置有金屬箔片4211；所述金屬箔片4211和感應(yīng)線圈423導(dǎo)通并插入到封裝殼421內(nèi)部的金屬箔槽4212中；所述金屬箔槽4212與封裝殼421外部的電壓接口4213導(dǎo)通。