[發(fā)明專利]一種應用于投影光刻機的單倍率大視場投影曝光物鏡

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011382807.8
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN112415865A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 楊超;朱咸昌;唐燕;胡松;劉錫;金川;劉磊
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 楊學明

1.一種應用于投影光刻機的單倍率大視場投影曝光物鏡，其特征在于：該投影曝光物鏡采用雙遠心結構，即物鏡物方和像方主光線與光軸平行；投影物鏡分為前后兩部分：透鏡組Ⅰ和透鏡組Ⅱ，光闌位于透鏡組Ⅰ和透鏡組Ⅱ的共焦面；前后兩組透鏡共12片透鏡，其中透鏡組Ⅰ包括L1～L6六片透鏡，透鏡組Ⅱ包括L7～L12六片透鏡，且均為球面鏡。

2.根據(jù)權利要求1所述的應用于投影光刻機的單倍率大視場投影曝光物鏡，其特征在于：透鏡組Ⅰ和透鏡組Ⅱ至少由12片透鏡組成：除了L2～L3、L10～L11為正透鏡，其余均為負透鏡。

3.根據(jù)權利要求1所述的應用于投影光刻機的單倍率大視場投影曝光物鏡，其特征在于：透鏡組Ⅰ和透鏡組Ⅱ組成的物鏡系統(tǒng)至少由12片透鏡組成：透鏡組Ⅰ和透鏡組Ⅱ組成的系統(tǒng)放大倍率為-1。

4.根據(jù)權利要求1所述的應用于投影光刻機的單倍率大視場投影曝光物鏡，其特征在于：透鏡組Ⅰ和透鏡組Ⅱ組成的物鏡系統(tǒng)的工作波長為365±2nm，選用不同色散特性的材料校正系統(tǒng)色差，具體的：

1)負透鏡L1、L12，正透鏡L2～L5、L8～L11采用常用的冕玻璃，其材料特性為：

1.51N_d1.53

60.16V_d66.02

其中，N_d為負透鏡L1、L12，正透鏡L2～L5、L8～L11的折射率；V_d為其對應的色散系數(shù)；

2)負透鏡L6、負透鏡L7采用火石玻璃，其材料特性滿足：

1.59N_d6～71.61

36.95V_d6～742.76

其中，N_d6～7為透鏡L6、L7的折射率；V_d6～7為其對應的色散系數(shù)。

5.根據(jù)權利要求1所述的應用于投影光刻機的單倍率大視場投影曝光物鏡，其特征在于：投影物鏡物像共軛距為1000mm，即系統(tǒng)總長為1000mm，結構緊湊；物方和像方工作距大于100mm，為后續(xù)系統(tǒng)結構設計留出足夠的空間，為滿足系統(tǒng)需求，投影物鏡結構滿足：

f_I～II160。

6.根據(jù)權利要求1所述的應用于投影光刻機的單倍率大視場投影曝光物鏡，其特征在于：投影物鏡數(shù)值孔徑NA為0.05，分辨力為6μm；曝光視場為110mm×110mm；場曲優(yōu)于±5μm；畸變優(yōu)于±0.05μm，滿足光刻機需求。