[發明專利]一種靶材冷卻背板的焊接方法

有效

• 申請號: 202011382638.8
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN112372165B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;韓松;羅明浩
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23K28/02
• 分類號: B23K28/02;B23K1/008;B23K20/12
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種靶材冷卻背板的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括如下步驟：

(1)將蓋板和基座進行機加工，機加工后的基座包括冷卻水道，然后對冷卻水道的內表面進行噴砂處理；其中，所述機加工包括：對于所述蓋板和基座，先通過粗銑加工出輪廓，再通過精銑加工出具體結構；所述粗銑的銑刀直徑為10-15mm，所述精銑的銑刀直徑為3-5mm，所述銑刀為硬質合金銑刀，所述銑刀的轉速為8000-12000rpm；所述噴砂處理采用的砂礫為棕剛玉，所述噴砂處理后，所述冷卻水道的內表面的粗糙度Ra為1.5-3μm；

(2)將步驟(1)機加工得到的蓋板與所述冷卻水道相接觸，進行所述蓋板與所述基座的裝配處理，然后進行真空釬焊，得到靶材冷卻背板粗品；其中，所述真空釬焊的升溫速率為5.6-6.7℃/min，焊接溫度為800-850℃，保溫時間為30-35min，真空度在0.001Pa以上，壓塊重量為100-150kg，而且所述真空釬焊采用的釬料為AgCuInTi焊片；

(3)在步驟(2)所述靶材冷卻背板粗品的焊縫處進行攪拌摩擦焊，控制所述攪拌摩擦焊的主軸轉速為700-800rpm，焊接速度為280-320mm/min，前傾角為1度-3度，攪拌針直徑為4-5mm，軸肩直徑為12-16mm，得到靶材冷卻背板。

2.根據權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述AgCuInTi焊片的長×寬×厚為1100×150×(0.05-0.1)mm。