[發明專利]一種光致抗蝕劑

有效

• 申請號: 202011382480.4
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN112578633B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 杜永杰;彭威;楊衛國;鄧曉明
• 申請（專利權）人: 珠海市能動科技光學產業有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027
• 代理公司: 佛山幫專知識產權代理事務所(普通合伙) 44387
• 代理人: 顏春艷

1.一種光致抗蝕劑，其特征在于，包括10重量份的聚合物組分（A）、50重量份的線性含羧基（甲基）丙烯酸酯粘合劑（B）、0.5重量份的流平劑（C）、36.38重量份的乙烯基丙烯酸酯類光固化單體（D）、1.8重量份的雙咪唑類大分子自由基引發劑（E）、0.32重量份的染料（F），或15重量份的聚合物組分（A）、50重量份的線性含羧基（甲基）丙烯酸酯粘合劑（B）、0.5重量份的流平劑（C）、31.38重量份的乙烯基丙烯酸酯類光固化單體（D）、1.8重量份的雙咪唑類大分子自由基引發劑（E）、0.32重量份的染料（F）；

該聚合物組分（A）為聚碳酸酯（A0）、聚碳酸酯丙烯酸酯（A1）、聚碳酸酯甲基丙烯酸酯（A2）中的至少一種；

A0、A1、A2的結構式分別如下：

其中：n為1~100的整數，R烴鏈。

2.如權利要求1所述的光致抗蝕劑，其特征在于，線性含羧基（甲基）丙烯酸酯粘合劑（B）是由一個或多個乙烯類單體和一個或多個 α，β-乙烯類不飽和含有羧基的有 3-15 個碳原子單體合成而來，所述乙烯類單體選自3-15碳原子烷烴和羥烷基丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯，苯乙烯和烷基取代的苯乙烯；所述α，β-乙烯類不飽和含有羧基的有 3-15 個碳原子單體選自苯丙烯酸、丁烯酸、富馬酸、山梨酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丙炔酸、馬來酸及它們的酸酐中的至少一種。

3.如權利要求1所述的光致抗蝕劑，其特征在于，所述流平劑（C）優選為BYK-358N流平劑。

4.如權利要求1所述的光致抗蝕劑，其特征在于，乙烯基丙烯酸酯類光固化單體（D）選自乙氧化雙酚A二丙烯酸酯、乙氧化雙酚A二甲基丙烯酸酯、二縮三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、六官能度聚酯丙烯酸酯、四官能度聚酯丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、8（乙氧基）壬基苯酚丙烯酸酯、β-丙烯酰氧基丙酸中的至少一種。

5.如權利要求1所述的光致抗蝕劑，其特征在于，雙咪唑類大分子自由基引發劑（E）選用雙咪唑引發劑BCIM。

6.如權利要求1所述的光致抗蝕劑，其特征在于，染料（F）選用燦爛綠、孔雀綠、維多利亞藍、隱形結晶紫中的至少一種。

7.如權利要求1所述的光致抗蝕劑，其特征在于，所述光致抗蝕劑還包括熱聚合抑制劑，熱聚合抑制劑是按光致抗蝕劑重量的0.01%~1.0%添加。

8.如權利要求7所述的光致抗蝕劑，其特征在于，所述熱聚合抑制劑選自p-甲氧基苯酚，氫苯醌，烷基和芳香基取代的氫苯醌和苯醌類，特丁基鄰苯二酚，鄰苯三酚，銅樹脂酸鹽，β-萘酚，2，6-二特丁基-p-甲苯酚，2，2’-亞甲基-二(4-乙基-6-特丁基苯酚 )，p-甲苯苯醌，四氯苯醌，芳基亞磷酸鹽，以及烷基芳基亞磷酸鹽中的至少一種。