[發(fā)明專(zhuān)利]加料裝置及單晶爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011380604.5
• 申請(qǐng)日: 2020-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112522778B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 歐子楊;白梟龍;尚偉澤;張昕宇;金浩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B15/00
• 分類(lèi)號(hào): C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京匯思誠(chéng)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444
• 代理人: 周放

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N加料裝置及單晶爐，其中，該加料裝置包括加料腔、第一部件和連接結(jié)構(gòu)；其中，加料腔上設(shè)置有加料口；第一部件設(shè)置于加料腔，用于打開(kāi)或關(guān)閉加料口；連接結(jié)構(gòu)的一端與第一部件相連，連接結(jié)構(gòu)的另一端與主爐室相連，連接結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有送料通道，連接結(jié)構(gòu)上還設(shè)置有真空閥。本申請(qǐng)可以實(shí)現(xiàn)加料裝置獨(dú)立抽真空，并通過(guò)連接結(jié)構(gòu)與主爐室連接后，可以對(duì)連接結(jié)構(gòu)獨(dú)立抽真空，從而可以減小在對(duì)主爐室建立真空環(huán)境時(shí)需要抽真空的容積，縮短了抽真空的時(shí)長(zhǎng)，提升了生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及單晶硅制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種加料裝置及單晶爐。

背景技術(shù)

在制備單晶棒前，需要在單晶爐的主爐室內(nèi)形成真空環(huán)境。對(duì)于需要采用外部加料設(shè)備的主爐室而言，主爐室需要與加料設(shè)備相連后才可以對(duì)主爐室和加料設(shè)備同時(shí)抽真空。由于加料設(shè)備擴(kuò)大了需要抽真空的空間，導(dǎo)致抽真空的時(shí)長(zhǎng)增加，不利于加料機(jī)服務(wù)于多臺(tái)單晶爐的操作，降低了生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)的目的在于提供一種加料裝置及單晶爐，以解決上述主爐室和加料設(shè)備同時(shí)抽真空而導(dǎo)致抽真空時(shí)長(zhǎng)增加、降低生產(chǎn)效率的問(wèn)題。

本申請(qǐng)的第一方面提供了一種加料裝置，其中，包括：

加料腔，所述加料腔上設(shè)置有加料口；

第一部件，設(shè)置于所述加料腔，用于打開(kāi)或關(guān)閉所述加料口；

連接結(jié)構(gòu)，所述連接結(jié)構(gòu)的一端與所述第一部件相連，所述連接結(jié)構(gòu)的另一端與主爐室相連，所述連接結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有送料通道，所述連接結(jié)構(gòu)上設(shè)置有真空閥。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，還包括第一密封件，所述第一密封件設(shè)置在所述連接結(jié)構(gòu)上與所述第一部件相連的一端。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，還包括送料機(jī)構(gòu)，所述送料機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述加料腔中，所述送料機(jī)構(gòu)可伸縮地穿設(shè)在所述加料口中。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述送料機(jī)構(gòu)包括料隧和滑軌，所述料隧與所述滑軌滑動(dòng)相連，所述料隧通過(guò)所述滑軌可伸縮地穿設(shè)在所述加料口中。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述料隧中形成有料槽，所述料槽的截面形狀為弧形或矩形。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述送料機(jī)構(gòu)還包括保溫機(jī)構(gòu)，所述保溫機(jī)構(gòu)滑動(dòng)設(shè)置在所述料隧上，所述保溫機(jī)構(gòu)能夠與所述加料口密封配合。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述保溫機(jī)構(gòu)包括保溫結(jié)構(gòu)和推桿，所述推桿和所述保溫結(jié)構(gòu)可拆卸連接。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述保溫結(jié)構(gòu)上設(shè)置有軸向連通的導(dǎo)向孔和轉(zhuǎn)動(dòng)孔，所述導(dǎo)向孔的一側(cè)露出所述保溫結(jié)構(gòu)的端面，所述轉(zhuǎn)動(dòng)孔的徑向尺寸大于所述導(dǎo)向孔的徑向尺寸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)孔與所述導(dǎo)向孔之間形成有第一臺(tái)階面；

所述推桿的一端設(shè)置有連接部，所述連接部與所述第一臺(tái)階面卡接。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述料隧中形成有料槽，所述保溫材料與所述料槽滑動(dòng)相連；

所述保溫結(jié)構(gòu)的側(cè)壁上設(shè)置有凸臺(tái)，所述保溫結(jié)構(gòu)通過(guò)所述凸臺(tái)搭接在所述料槽的邊緣。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述加料腔中還設(shè)置有加料桶，所述加料桶設(shè)置在所述料隧的上方，所述加料桶的底部設(shè)置有出料孔，所述出料孔與所述料隧位置相對(duì)。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述加料桶中設(shè)置有加熱器。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述加料腔中還設(shè)置有碎料機(jī)構(gòu)，所述碎料機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述加料桶和所述料隧之間。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述碎料機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、主動(dòng)輥和被動(dòng)輥，所述主動(dòng)輥上設(shè)置有第一齒，所述被動(dòng)輥上設(shè)置有第二齒，所述第一齒與所述第二齒嚙合；

所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述主動(dòng)輥和所述被動(dòng)輥相向轉(zhuǎn)動(dòng)。